[實用新型]用于靜電過濾器的電極有效
| 申請號： | 202020170300.5 | 申請日： | 2020-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN211507564U | 公開（公告）日： | 2020-09-15 |
| 發明（設計）人： | 羅伯特·C·林德柏格;亞歷山大·利坎斯奇;惠妮·拉伯斯;法蘭克·辛克萊;史費特那·瑞都凡諾 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/147 | 分類號： | H01J37/147;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 楊文娟;臧建明 |
| 地址： | 美國加州圣塔克*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 靜電 過濾器 電極 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述電極包括：
第一端及第二端，所述第一端與所述第二端相對；以及
中心區域，位于所述第一端與所述第二端之間，其中所述中心區域的中心直徑與所述第一端的第一端直徑和所述第二端的第二端直徑不同。
2.根據權利要求1所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述中心區域中的所述中心直徑大于或小于所述第一端的所述第一端直徑以及所述第二端直徑。
3.根據權利要求1所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述第一端的所述第一端直徑與所述第二端的所述第二端直徑不同。
4.根據權利要求1所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述電極為抑制電極。
5.根據權利要求1所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述中心區域的所述中心直徑大于所述第一端直徑和所述第二端直徑。
6.根據權利要求1所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，所述電極具有橢圓形橫截面。
7.根據權利要求6所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，沿所述電極的Y軸的高度小于沿所述電極的Z軸的寬度。
8.根據權利要求6所述的用于靜電過濾器的電極，其特征在于，沿所述電極的Y軸的高度大于沿所述電極的Z軸的寬度。
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