[實用新型]一種薄膜真空等離子體處理設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020163288.5
• 申請日: 2020-02-12
• 公開（公告）號: CN210956594U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設計）人: 劉鑫培;沈文凱;王紅衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司;蘇州德睿源等離子體研究院有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 蘇州科洲知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 32435
• 代理人: 王悅

1.一種薄膜真空等離子體處理設備，特征在于，所述真空等離子體處理設備包括多級抽真空單元、支撐單元及迂回部組合單元，所述迂回部組合單元位于真空等離子體處理設備的中部，用于對薄膜材料進行等離子體處理，所述多級抽真空單元位于真空等離子體處理設備的兩側(cè)，確保迂回部組合單元內(nèi)部保持真空環(huán)境，所述支撐單元位于多級抽真空單元和迂回部組合單元的外側(cè)，起支撐和保護作用。

2.如權(quán)利要求1所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述多級抽真空單元包括單級抽空單元腔體(5)、密封壓板(6)、真空快卸連接器(13)，所述單級抽空單元腔體(5)位于迂回部組合單元的兩側(cè)，所述密封壓板(6)位于單級抽空單元腔體(5)的上部，所述真空快卸連接器(13)位于單級抽空單元腔體(5)的側(cè)面。

3.如權(quán)利要求2所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述多級抽真空單元包含偶數(shù)個單級抽空單元腔體(5)，其中半數(shù)設置于迂回部組合單元的前端，半數(shù)設置于迂回部組合單元的后端，在單級抽空單元腔體(5)的前后立面設置薄膜進出口，在薄膜進出口與薄膜之間設置進出口密封圈，每個所述單級抽空單元腔體(5)上部設置密封壓板(6)，通過內(nèi)六角圓柱頭螺釘(14)連接，在單級抽空單元腔體(5)與密封壓板(6)之間設置壓板密封圈，每個所述單級抽空單元腔體(5)一側(cè)設置真空快卸連接器(13)，在單級抽空單元腔體(5)與真空快卸連接器(13)之間設置抽風口密封圈及O形圈。

4.如權(quán)利要求1所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述支撐單元包括箱體(2)、中間蓋板(3)、側(cè)段蓋板(4)、真空快卸連接器(13)，所述箱體(2)為“凸”字形結(jié)構(gòu)，位于多級抽真空單元和迂回部組合單元的外部，所述中間蓋板(3)和側(cè)段蓋板(4)都位于箱體(2)上部，所述真空快卸連接器(13)位于箱體(2)側(cè)面。

5.如權(quán)利要求4所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述箱體(2)上部設置1塊中間蓋板(3)和2塊側(cè)段蓋板(4)，箱體(2)與側(cè)段蓋板(4)之間設置側(cè)段密封圈，所述箱體(2)一側(cè)設置若干個真空快卸連接器(13)，箱體(2)與真空快卸連接器(13)之間設置抽風口密封圈及O形圈。

6.如權(quán)利要求1所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述迂回部組合單元包括立板(7)、撐桿(8)、輥筒(9)、電極管(10)、電極管固定板(11)、軸承(12)，所述立板(7)位于迂回部組合單元兩側(cè)，所述撐桿(8)位于立板(7)的四個角部，撐桿(8)兩端分別抵在左右立板(7)上，所述軸承(12)設置于立板(7)上，所述輥筒(9)與軸承(12)連接，所述電極管固定板(11)設置于立板(7)外側(cè)，所述電極管(10)與電極管固定板(11)連接。

7.如權(quán)利要求6所述薄膜真空等離子體處理設備，其特征在于，所述迂回部組合單元包含2塊立板(7)，分別設置于迂回部組合單元左右兩側(cè)，所述立板(7)之間設置4根撐桿(8)，所述撐桿(8)位于立板(7)的4個角，撐桿(8)的兩端抵在立板(7)上，立板(7)與撐桿(8)通過凸臺連接，所述立板(7)之間設置2n+3根輥筒(9)，其中n為大于2的正整數(shù)，其中n根設置于立板(7)上部，n+3根設置于立板(7)下部，立板(7)與輥筒(9)通過帶方形座的軸承(12)連接，所述立板(7)之間設置若干根電極管(10)，呈矩陣形式排列，每一行電極管(10)為一組，立板(7)與每組電極管(10)之間通過電極管固定板(11)連接。