[實用新型]一種用于鍍膜設(shè)備的升降結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020158248.1
• 申請日: 2020-02-10
• 公開（公告）號: CN212299942U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張武;龐愛鎖;林佳繼;劉群;林依婷
• 申請（專利權(quán)）人: 拉普拉斯（無錫）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;C23C16/458
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實用新型提供一種用于鍍膜設(shè)備的升降結(jié)構(gòu)，包括爐門，所述爐門能夠用于密封鍍膜設(shè)備的爐口，所述升降結(jié)構(gòu)包括載板升降組件和載板升降模組，所述載板升降組件安裝在爐門上，并能夠隨爐門升降，所述載板升降模組連接載板升降組件并通過載板升降組件驅(qū)動爐門的升降，所述爐門能夠裝載用于承載硅片的硅片載具，載板升降組件連接硅片載具，并能夠驅(qū)動硅片載具的升降。本實用新型采用二級升降驅(qū)動，其中一級升降驅(qū)動主要進行大范圍的整體升降，另外一級升降機構(gòu)主要用于在鍍膜過程中對硅片載具的進行微調(diào)，改變鍍膜位置，實現(xiàn)雙面鍍膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工所采用的鍍膜設(shè)備中的升降結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體或光伏材料廣泛應(yīng)用于電子、新能源等行業(yè)，半導(dǎo)體和光伏材料通常都需要經(jīng)過加工處理才能夠應(yīng)用到產(chǎn)品上，鍍膜工藝、擴散工藝、氧化工藝等是現(xiàn)有的一些處理方式。

真空爐作為半導(dǎo)體器件工藝設(shè)備的重要設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于集成電路、電力電子、太陽能電池的生產(chǎn)等行業(yè)，在光伏行業(yè)，高溫真空爐主要用于對單晶硅片、多晶硅片進行摻雜，形成PN結(jié)。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，人們一直在追求產(chǎn)能的提升。而在制作工藝過程中，會有許多熱處理的工序，如熱氧化、化學(xué)氣相沉積(CVD)、熱鍍膜、金屬合金化、雜質(zhì)激活、介質(zhì)膜致密化等。這些熱處理工藝對溫度非常敏感，尤其是在半導(dǎo)體器件的制備中，溫度是影響硅晶成膜均勻性及生長速度的關(guān)鍵參數(shù)。

在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中，常采用PECVD制備薄膜如氮化硅膜，碳化硅膜，氧化硅膜等；傳統(tǒng)的PECVD鍍膜，通常都是單面鍍膜，傳統(tǒng)的生產(chǎn)設(shè)備容易造成繞鍍，不能規(guī)避卡點印問題，對于膜的單面性要求很高時，傳統(tǒng)設(shè)備不再適應(yīng)。

現(xiàn)有技術(shù)中的CVD設(shè)備通常采用懸臂槳將舟放入爐管或者爐門帶動硅片載具移動，爐門由驅(qū)動設(shè)備繼續(xù)驅(qū)動，爐門密封到位后，硅片載具以及其上硅片的位置便不再有變化，在鍍膜的過程中也無法對硅片載具的位置進行調(diào)整，這就限制了鍍膜設(shè)備的應(yīng)用范圍。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種用于鍍膜設(shè)備的爐門升降結(jié)構(gòu)，能夠?qū)杵d具的位置進行二次調(diào)節(jié)，擴大了鍍膜設(shè)備的應(yīng)用范圍。

本實用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種用于鍍膜設(shè)備的升降結(jié)構(gòu)，包括爐門，所述爐門能夠用于密封鍍膜設(shè)備的爐口，所述升降結(jié)構(gòu)包括載板升降組件和載板升降模組，所述載板升降組件安裝在爐門上，并能夠隨爐門升降，所述載板升降模組連接載板升降組件并通過載板升降組件驅(qū)動爐門的升降，所述爐門能夠裝載用于承載硅片的硅片載具，載板升降組件連接硅片載具，并能夠驅(qū)動硅片載具的升降。

進一步地，載板升降組件包括第一載板升降驅(qū)動件，所述載板升降驅(qū)動件通過驅(qū)動件支架固定連接在爐門上表面。

進一步地，所述載板升降組件包括載板升降驅(qū)動桿，所述爐門上設(shè)有能夠允許載板升降驅(qū)動桿穿過的開孔，所述載板升降驅(qū)動桿能夠穿過所述驅(qū)動件支架伸入到爐門的另一側(cè)，用于與鍍膜設(shè)備內(nèi)的硅片載具連接。

進一步地，所述開孔的外側(cè)設(shè)有腔體焊接法蘭，所述載板升降驅(qū)動件的輸出端通過一浮動接頭連接一動密封法蘭，所述腔體焊接法蘭和所述動密封法蘭之間通過焊接波紋管密封連接，使得當(dāng)爐門合上時，焊接波紋管的內(nèi)部與鍍膜設(shè)備的內(nèi)部形成密封的腔體。

進一步地，所述驅(qū)動件支架內(nèi)設(shè)有直線導(dǎo)軌，所述動密封法蘭的一側(cè)與所述直線導(dǎo)軌配合并能夠沿所述直線導(dǎo)軌移動。

進一步地，所述載板升降模組包括升降滑動桿，所述升降滑動桿上設(shè)有升降滑軌，所述升降滑軌上設(shè)有升降滑塊，所述升降滑塊能夠連接至所述載板升降組件。

進一步地，所述升降滑塊成對設(shè)置在所述升降滑動桿的兩側(cè)，所述升降滑塊能夠分別通過連接塊連接至所述載板升降組件的驅(qū)動件支架上。