[實用新型]一種用于鍍膜設備的升降結構

有效

• 申請號: 202020158248.1
• 申請日: 2020-02-10
• 公開（公告）號: CN212299942U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 張武;龐愛鎖;林佳繼;劉群;林依婷
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;C23C16/458
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

1.一種用于鍍膜設備的升降結構，包括爐門，所述爐門能夠用于密封鍍膜設備的爐口，其特征是，所述升降結構包括載板升降組件和載板升降模組，所述載板升降組件安裝在爐門上，并能夠隨爐門升降，所述載板升降模組連接載板升降組件并通過載板升降組件驅動爐門的升降，所述爐門能夠裝載用于承載硅片的硅片載具，載板升降組件連接硅片載具，并能夠驅動硅片載具的升降。

2.根據權利要求1所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，載板升降組件包括第一載板升降驅動件，所述載板升降驅動件通過驅動件支架固定連接在爐門上表面。

3.根據權利要求2所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述載板升降組件包括載板升降驅動桿，所述爐門上設有能夠允許載板升降驅動桿穿過的開孔，所述載板升降驅動桿能夠穿過所述驅動件支架伸入到爐門的另一側與硅片載具連接。

4.根據權利要求3所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述開孔的外側設有腔體焊接法蘭，所述載板升降驅動件的輸出端通過一浮動接頭連接一動密封法蘭，所述腔體焊接法蘭和所述動密封法蘭之間通過焊接波紋管密封連接。

5.根據權利要求4所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述驅動件支架內設有直線導軌，所述動密封法蘭的一側與所述直線導軌配合并能夠沿所述直線導軌移動。

6.根據權利要求1所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述載板升降模組包括升降滑動桿，所述升降滑動桿上設有升降滑軌，所述升降滑軌上設有升降滑塊，所述升降滑塊能夠連接至所述載板升降組件。

7.根據權利要求6所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述升降滑塊成對設置在所述升降滑動桿的兩側，所述升降滑塊能夠分別通過連接塊連接至所述載板升降組件的驅動件支架上。

8.根據權利要求6所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述升降滑動桿通過固定板固定連接在鍍膜設備的一側。

9.根據權利要求6所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述載板升降模組還包括第二載板升降驅動件，所述第二載板升降驅動件設置在升降滑動桿上，并能夠驅動升降滑塊沿所述升降滑動桿上下移動。

10.根據權利要求5所述的一種用于鍍膜設備的升降結構，其特征是，所述驅動件支架包括兩根立柱和一塊側板，側板設置在靠近載板升降模組的這一側，所述直線導軌設置在側板上，所述動密封法蘭整體上成L形，并包括兩塊三角形的側擋，能夠部分擋住所述焊接波紋管。