[實(shí)用新型]一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020156025.1
• 申請日: 2020-02-08
• 公開（公告）號: CN212008139U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 來楚楚
• 申請（專利權(quán)）人: 北京旺達(dá)世嘉科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: G01N3/12
• 分類號: G01N3/12;G01N3/04;G01N3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備，涉及硅片測試裝置技術(shù)領(lǐng)域。該一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備，包括工作臺，所述工作臺的上端設(shè)有兩個移動機(jī)構(gòu)，兩個所述移動機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置于工作臺上端的兩個滑槽，兩個所述移動機(jī)構(gòu)的上端連接有卡緊機(jī)構(gòu)，兩個所述卡緊機(jī)構(gòu)相對稱設(shè)置，所述工作臺上端連接有放置機(jī)構(gòu)，所述放置機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有檢測機(jī)構(gòu)，所述檢測機(jī)構(gòu)與外部電器元部件電性連接，所述檢測機(jī)構(gòu)與放置機(jī)構(gòu)活動連接。本實(shí)用新型可以幫助工作人員對不同體積的硅片和對硅片不同位置的韌性進(jìn)行測量，從而方便工作人員得到更完善的數(shù)據(jù)，進(jìn)一步的方便了工作人員的工作，間接的提高了工作人員的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片測試裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備。

背景技術(shù)

集成電路板是采用半導(dǎo)體制作工藝，在一塊較小的單晶硅片上制作上許多晶體管及電阻器、電容器等元器件，并按照多層布線或隧道布線的方法將元器件組合成完整的電子電路，從而放置于不同的電器中，用于控制電器中的各個零部件。

經(jīng)檢索，中國專利授權(quán)號CN 204214723 U公開了一種硅片韌性測試裝置，包括基臺、頂蓋、壓針和稱重器，基臺為上表面的四個端角處帶有四個立柱的正方形臺板，立柱的截面為直角三角形，所述立柱兩個相互垂直的柱面分別與基臺的兩個相互垂直的側(cè)面共面，在立柱的斜面上開有水平截面為直角三角形的卡位凹槽，卡位凹槽上端貫通立柱的頂面，下端止于立柱的一個水平截面，頂蓋放置在四個立柱的頂面上，頂蓋的中心開有通孔，壓針為從上向下套穿在通孔內(nèi)的壓桿，壓桿底部呈半球形形狀，頂部連接有水槽，基臺放置在稱重器上。該裝置能夠有效快速準(zhǔn)確地對硅片的韌性值作出測量。

現(xiàn)有的裝置在使用時候會出現(xiàn)以下問題：現(xiàn)有的裝置在使用的時候無法針對不同大小的硅片進(jìn)行測試，進(jìn)一步的影響工作人員的工作，同時現(xiàn)有的裝置不能對硅片不同的位置進(jìn)行韌性測試，從而影響工作人員檢測數(shù)據(jù)。

因此我們提出了一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備來解決上述問題

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供主題，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種集成電路硅板韌性測試設(shè)備，包括工作臺，所述工作臺的上端設(shè)有兩個移動機(jī)構(gòu)，兩個所述移動機(jī)構(gòu)的上端連接有卡緊機(jī)構(gòu)，兩個所述卡緊機(jī)構(gòu)相對稱設(shè)置，所述工作臺上端連接有放置機(jī)構(gòu)，所述放置機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有檢測機(jī)構(gòu)，所述檢測機(jī)構(gòu)與外部電器元部件電性連接，所述檢測機(jī)構(gòu)與放置機(jī)構(gòu)活動連接，所述放置機(jī)構(gòu)與外部氣源相連接。

優(yōu)選地，兩個所述移動機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置于工作臺上端的兩個滑槽，所述工作臺的上端設(shè)有多個第一螺紋孔，兩個所述滑槽內(nèi)均滑動連接有滑塊，兩塊所述滑塊的上端均固定連接有連接板，兩塊所述連接板的上端均貫穿設(shè)有固定螺栓，兩根所述固定螺栓分別與其中兩個第一螺紋孔螺紋連接。

優(yōu)選地，兩個所述卡緊機(jī)構(gòu)包括分別固定連接于連接板上端的豎板，兩塊所述豎板的側(cè)壁上均螺紋連接有調(diào)節(jié)絲桿，兩根所述調(diào)節(jié)絲桿遠(yuǎn)離豎板的一端均轉(zhuǎn)動連接有卡塊。

優(yōu)選地，所述放置機(jī)構(gòu)包括固定連接于工作臺上端的多根支撐桿，多根所述支撐桿的上端固定連接有同一塊頂板，所述頂板的上端貫穿設(shè)有活塞筒，所述活塞筒與頂板活動連接，所述活塞筒的進(jìn)氣端固定連接有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管與外部氣源相連接，所述活塞筒的出氣端固定連接有出氣管，所述檢測機(jī)構(gòu)位于活塞筒內(nèi)。

優(yōu)選地，所述檢測機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于活塞筒內(nèi)的活塞板，所述活塞板的下端固定連接有壓力桿，所述壓力桿的下端穿過活塞筒的側(cè)壁并延伸至其下方，所述壓力桿內(nèi)設(shè)有壓力傳感器，所述壓力傳感器與外部電器元部件電性連接。

優(yōu)選地，所述活塞筒的側(cè)壁上固定連接有兩塊相對稱的固定板，兩塊所述固定板的上端均貫穿設(shè)有限位螺栓，所述頂板的上端設(shè)有兩個與限位螺栓相匹配的第二螺紋孔，兩個所述第二螺紋孔分別與兩根限位螺栓螺紋連接。