[實用新型]一種集成電路硅板韌性測試設備

有效

• 申請號: 202020156025.1
• 申請日: 2020-02-08
• 公開（公告）號: CN212008139U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 來楚楚
• 申請（專利權）人: 北京旺達世嘉科技發展有限公司
• 主分類號: G01N3/12
• 分類號: G01N3/12;G01N3/04;G01N3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集成電路硅板韌性測試設備，包括工作臺(1)，其特征在于：所述工作臺(1)的上端設有兩個移動機構，兩個所述移動機構的上端連接有卡緊機構，兩個所述卡緊機構相對稱設置，所述工作臺(1)上端連接有放置機構，所述放置機構內設有檢測機構，所述檢測機構與外部電器元部件電性連接，所述檢測機構與放置機構活動連接，所述放置機構與外部氣源相連接。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路硅板韌性測試設備，其特征在于：兩個所述移動機構包括分別設置于工作臺(1)上端的兩個滑槽(2)，所述工作臺(1)的上端設有多個第一螺紋孔(3)，兩個所述滑槽(2)內均滑動連接有滑塊(4)，兩塊所述滑塊(4)的上端均固定連接有連接板(5)，兩塊所述連接板(5)的上端均貫穿設有固定螺栓(6)，兩根所述固定螺栓(6)分別與其中兩個第一螺紋孔(3)螺紋連接。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路硅板韌性測試設備，其特征在于：兩個所述卡緊機構包括分別固定連接于連接板(5)上端的豎板(7)，兩塊所述豎板(7)的側壁上均螺紋連接有調節絲桿(8)，兩根所述調節絲桿(8)遠離豎板(7)的一端均轉動連接有卡塊(9)。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路硅板韌性測試設備，其特征在于：所述放置機構包括固定連接于工作臺(1)上端的多根支撐桿(10)，多根所述支撐桿(10)的上端固定連接有同一塊頂板(11)，所述頂板(11)的上端貫穿設有活塞筒(12)，所述活塞筒(12)與頂板(11)活動連接，所述活塞筒(12)的進氣端固定連接有進氣管(13)，所述進氣管(13)與外部氣源相連接，所述活塞筒(12)的出氣端固定連接有出氣管(14)，所述檢測機構位于活塞筒(12)內。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路硅板韌性測試設備，其特征在于：所述檢測機構包括設置于活塞筒(12)內的活塞板(15)，所述活塞板(15)的下端固定連接有壓力桿(16)，所述壓力桿(16)的下端穿過活塞筒(12) 的側壁并延伸至其下方，所述壓力桿(16)內設有壓力傳感器(17)，所述壓力傳感器(17)與外部電器元部件電性連接。

6.根據權利要求4所述的一種集成電路硅板韌性測試設備，其特征在于：所述活塞筒(12)的側壁上固定連接有兩塊相對稱的固定板(18)，兩塊所述固定板(18)的上端均貫穿設有限位螺栓(19)，所述頂板(11)的上端設有兩個與限位螺栓(19)相匹配的第二螺紋孔(20)，兩個所述第二螺紋孔(20)分別與兩根限位螺栓(19)螺紋連接。