[實(shí)用新型]靜電吸附裝置和貼合裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020154428.2
• 申請日: 2020-02-06
• 公開（公告）號: CN211890876U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐紹宸;李富海;鮑曉亮;蕢張濤;魏繼江
• 申請（專利權(quán)）人: 吸力奇跡（天津）科技有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;C23C14/35;C23C14/08;B32B15/20;B32B15/04;B32B9/00;B32B9/04;B32B17/06;B32B27/28;B32B27/06;B32B33/00;H01L21/683;H01L21/67
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本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種靜電吸附裝置和貼合裝置，解決了現(xiàn)有靜電吸附裝置由于接觸層表面粗糙不平而導(dǎo)致的容易粘附灰塵以及影響吸附效果的問題。該靜電吸附裝置包括：底板；設(shè)置在所述底板表面的電極層，構(gòu)造為通電后通過累積電荷產(chǎn)生靜電吸附力；以及設(shè)置在所述電極層表面的接觸層，用于與被吸附物品接觸并防止靜電擊穿；其中，所述接觸層采用一體成型且表面平整的玻璃材質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及靜電吸附技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種靜電吸附裝置和貼合裝置。

背景技術(shù)

靜電吸附裝置是一種利用電場感應(yīng)產(chǎn)生靜電，從而吸附被吸附物體的工業(yè)元件。隨著工業(yè)生產(chǎn)中超凈作業(yè)環(huán)境需求行業(yè)的生產(chǎn)量的增加，對于無痕無損無塵抓取的需求逐漸增多，而傳統(tǒng)的用于半導(dǎo)體行業(yè)的靜電吸附裝置由于接觸層表面較為粗糙，容易粘附灰塵，從而影響被吸附物品的后續(xù)工序；此外，現(xiàn)有靜電吸附裝置的接觸層表面在與電極層的接合處存在縫隙，容易因?yàn)榧庸ふ`差導(dǎo)致接觸層表面不平，這寫都會嚴(yán)重影響被吸附物體的吸附效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種靜電吸附裝置，解決了現(xiàn)有靜電吸附裝置由于接觸層表面粗糙不平而導(dǎo)致的容易粘附灰塵以及影響吸附效果的問題。

根據(jù)本申請的一個(gè)方面，本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種靜電吸附裝置包括：底板；設(shè)置在所述底板表面的電極層，構(gòu)造為通電后通過累積電荷產(chǎn)生靜電吸附力；以及設(shè)置在所述電極層表面的接觸層，用于與被吸附物品接觸并防止靜電擊穿；其中，所述接觸層采用一體成型且表面平整的玻璃材質(zhì)。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述接觸層的材質(zhì)包括以下材料中的一種或多種組合：高硼硅玻璃和鋼化玻璃。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述接觸層的厚度包括0.3mm-1mm。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述接觸層的硬度包括

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述接觸層的與所述電極層貼合的表面以及與所述被吸附物品接觸的表面的粗糙度都不大于Ra0.025。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述電極層的與所述接觸層貼合的表面中未被電極結(jié)構(gòu)覆蓋的區(qū)域?yàn)閲娚疤幚淼拇植诒砻妗?/p>

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述接觸層和所述電極層之間通過貼合膠粘合。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述貼合膠中包括熒光指示劑。

根據(jù)本申請的另一個(gè)方面，本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種制備如前所述的靜電吸附裝置的貼合裝置包括：貼合平臺，用于承載所述底板以及設(shè)置在所述底板表面的所述電極層；夾具，構(gòu)造為夾持采用玻璃材質(zhì)的所述接觸層，其中，所述夾具包括用于穩(wěn)定夾持所述接觸層的范德華力吸盤；導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)，包括與所述貼合平臺垂直設(shè)置的直線導(dǎo)軌，以及設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌中的滑塊，其中，所述夾具與所述滑塊固定連接；以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，構(gòu)造為驅(qū)動所述滑塊在所述直線導(dǎo)軌中運(yùn)動，以使得所述接觸層靠近所述貼合平臺。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述范德華力吸盤包括緩沖結(jié)構(gòu)。

在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，所述緩沖結(jié)構(gòu)包括海綿層。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種靜電吸附裝置和貼合裝置，接觸層采用一體成型且表面平整的玻璃材質(zhì)，玻璃材質(zhì)的表面光滑且平整，這樣該接觸層在與被吸附物品接觸以完成吸附時(shí)，不易粘附灰塵，從而保證了吸附過程的干凈作業(yè)需求。此外，一體成型的玻璃材質(zhì)不會因?yàn)榇嬖诮Y(jié)合縫隙而導(dǎo)致表面不平，從而保證被吸附物品的吸附效果。

附圖說明

圖1所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種靜電吸附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種貼合裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式