[實用新型]靜電吸附裝置和貼合裝置有效
| 申請號： | 202020154428.2 | 申請日： | 2020-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN211890876U | 公開（公告）日： | 2020-11-10 |
| 發明（設計）人： | 徐紹宸;李富海;鮑曉亮;蕢張濤;魏繼江 | 申請（專利權）人： | 吸力奇跡（天津）科技有限公司 |
| 主分類號： | B25J15/00 | 分類號： | B25J15/00;C23C14/35;C23C14/08;B32B15/20;B32B15/04;B32B9/00;B32B9/04;B32B17/06;B32B27/28;B32B27/06;B32B33/00;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300480 天津市濱海新區濱海天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 吸附 裝置 貼合 | ||
1.一種靜電吸附裝置，其特征在于，包括：
底板；
設置在所述底板表面的電極層，構造為通電后通過累積電荷產生靜電吸附力；以及
設置在所述電極層表面的接觸層，用于與被吸附物品接觸并防止靜電擊穿；
其中，所述接觸層采用一體成型且表面平整的玻璃材質。
2.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述接觸層的材質包括以下材料中的一種或多種組合：高硼硅玻璃和鋼化玻璃。
3.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述接觸層的厚度包括0.3mm-1mm。
4.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述接觸層的與所述電極層貼合的表面以及與所述被吸附物品接觸的表面的粗糙度都不大于Ra0.025。
5.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述電極層的與所述接觸層貼合的表面中未被電極結構覆蓋的區域為噴砂處理的粗糙表面。
6.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述接觸層和所述電極層之間通過貼合膠粘合。
7.根據權利要求6所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述貼合膠中包括熒光指示劑。
8.一種制備如權利要求1所述的靜電吸附裝置的貼合裝置，其特征在于，包括：
貼合平臺，用于承載所述底板以及設置在所述底板表面的所述電極層；
夾具，構造為夾持采用玻璃材質的所述接觸層，其中，所述夾具包括用于穩定夾持所述接觸層的范德華力吸盤；
導軌機構，包括與所述貼合平臺垂直設置的直線導軌，以及設置在所述直線導軌中的滑塊，其中，所述夾具與所述滑塊固定連接；以及
驅動機構，構造為驅動所述滑塊在所述直線導軌中運動，以使得所述接觸層靠近所述貼合平臺。
9.根據權利要求8所述的貼合裝置，其特征在于，所述范德華力吸盤包括緩沖結構。
10.根據權利要求9所述的貼合裝置，其特征在于，所述緩沖結構包括海綿層。
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