[實用新型]晶圓盒移載裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020145954.2
• 申請日: 2020-01-22
• 公開（公告）號: CN211320072U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 簡呈儒;卓侃熠
• 申請（專利權(quán)）人: 迅得機械(東莞)有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11139
• 代理人: 李林

本實用新型提供一種晶圓盒移載裝置，設(shè)置有機架以及位移器，機架設(shè)置于設(shè)備前端模塊側(cè)方，并靠近于設(shè)備前端模塊供晶圓盒移入設(shè)備前端模塊的入口處，位移器具有軌道、位移座以及驅(qū)動器，軌道系橫向設(shè)置于機架上，而位移座連接于軌道并供晶圓盒放置，且位移座系受驅(qū)動器帶動于軌道上來回位移，利用晶圓盒移載裝置讓晶圓盒的放置與進入設(shè)備前端模塊的位置不同，以確保使用者不會接近晶圓盒于進入設(shè)備前端模塊的入口處，以避免危險發(fā)生，且可使設(shè)備前端模塊以更短的距離移動晶圓盒。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種晶圓盒移載裝置，尤指用以將晶圓盒送至設(shè)備前端模塊(EFEM)的移載裝置。

背景技術(shù)

在半導體的制造制程中，為了提高產(chǎn)率以及品質(zhì)，會于潔凈的無塵室內(nèi)對晶圓進行處理，但隨著推進元件的高集成化、電路的微小化以及晶圓的大型化，就技術(shù)性與費用方面而言，難以將無塵室內(nèi)整體保持為潔凈狀態(tài)，因此，即有相關(guān)業(yè)者，利用設(shè)備前端模塊(Equipment Front End Module，EFEM)連接制程設(shè)備，僅對晶圓周圍的空間的潔凈度進行管理，此種設(shè)備前端模塊會于一側(cè)設(shè)置裝載口(Load Port)，使用者將晶圓盒放置于裝載口處后，設(shè)備前端模塊再利用機器手臂將晶圓盒移入設(shè)備前端模塊，但此種裝載口的設(shè)置具有下列缺失：

1、裝載口必須非常的靠近設(shè)備前端模塊，來減少空間的占用，但會讓使用者于擺放晶圓盒至裝載口時，由于擺放的空間狹小使得擺放不易，且容易造成晶圓盒掉落的問題產(chǎn)生。

2、設(shè)備前端模塊的機械手臂在移動晶圓盒時，若使用者未注意而靠近裝載口，就容易發(fā)生危險，輕則對晶圓盒產(chǎn)生危害，重則可能造成人員受傷。

是以，要如何解決上述裝載口的問題與缺失，即為相關(guān)業(yè)者所亟欲研發(fā)的課題所在。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的乃在于，利用晶圓盒移載裝置讓晶圓盒的放置與進入設(shè)備前端模塊的位置不同，以確保使用者不會接近晶圓盒于進入設(shè)備前端模塊的入口處，以避免危險發(fā)生，且可使設(shè)備前端模塊以更短的距離移動晶圓盒。

本實用新型的次要目的乃在于，利用晶圓盒移載裝置的軌道兩端與設(shè)備前端模塊的間距不同，增加使用者擺放晶圓盒的空間，以利使用者順利的將晶圓盒擺放，且不會使設(shè)備前端模塊與晶圓盒移載裝置的整體寬度過度增加。

為達上述目的，本實用新型提供一種晶圓盒移載裝置，用以將晶圓盒送至設(shè)備前端模塊，設(shè)置有機架以及位移器，其特征在于：

該機架設(shè)置于設(shè)備前端模塊側(cè)方，并靠近于設(shè)備前端模塊供晶圓盒移入設(shè)備前端模塊的入口處，位移器具有軌道、位移座以及驅(qū)動器，軌道橫向設(shè)置于機架上，軌道兩端分別形成有入料端以及出料端，出料端位于設(shè)備前端模塊的入口處，而位移座連接于軌道并供晶圓盒放置，且位移座受驅(qū)動器帶動而能夠在入料端與出料端之間來回位移。

所述的晶圓盒移載裝置，其中：該位移器的軌道的出料端與設(shè)備前端模塊的間距小于入料端與設(shè)備前端模塊的間距。

所述的晶圓盒移載裝置，其中：該機架于靠近軌道的入料端與出料端處分別設(shè)置有光電開關(guān)。

本實用新型的優(yōu)點在于：

一、軌道系橫向設(shè)置于機架上，利用驅(qū)動器帶動位移座于入料端與出料端之間來回位移，讓使用者放置晶圓盒時遠離設(shè)備前端模塊的入口處，以避免使用者發(fā)生危險。

二、利用軌道的出料端與設(shè)備前端模塊的間距，小于入料端與設(shè)備前端模塊的間距，讓使用者于放置晶圓盒時具有較大空間，以利使用者擺放晶圓盒至位移座上，而位移座將晶圓盒帶至設(shè)備前端模塊的入口處時，晶圓盒可更加的靠近設(shè)備前端模塊，以減少設(shè)備前端模塊的機械手臂位移距離。

附圖說明

圖1是本實用新型與設(shè)備前端模塊的外觀示意圖。

圖2是本實用新型的外觀示意圖。