[實(shí)用新型]一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020141888.1
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN210984389U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張梓晗;呂鵬;張寧;張運(yùn)奇
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥微晶材料科技有限公司
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H05H1/24
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 34101
• 代理人: 孫琴

本實(shí)用新型公開了一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置，包括負(fù)壓箱體，負(fù)壓箱體內(nèi)設(shè)置有放卷、收卷、等離子處理箱，等離子處理箱的進(jìn)氣口外通過進(jìn)氣管連接至氣瓶，氣瓶內(nèi)裝有氫氣和保護(hù)氣的混合氣體；等離子處理箱內(nèi)部設(shè)有多個(gè)導(dǎo)輥，每個(gè)導(dǎo)輥的軸線沿前后方向延伸且能轉(zhuǎn)動(dòng)，納米銀導(dǎo)電膜依次纏繞在各個(gè)導(dǎo)輥上，通過多個(gè)導(dǎo)輥使得位于等離子處理箱內(nèi)的納米銀導(dǎo)電膜呈現(xiàn)為多段迂回的結(jié)構(gòu)，位于相鄰的兩個(gè)導(dǎo)輥之間的每段納米銀導(dǎo)電膜的兩側(cè)設(shè)有一組等離子電極，每組等離子電極包括相對設(shè)置的等離子陽極板和等離子陰極板場。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：起到了去除導(dǎo)電膜涂層中的有機(jī)物和銀線表面氧化層從而實(shí)現(xiàn)提高涂層導(dǎo)電效率的作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及導(dǎo)電膜處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及的是一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置。

背景技術(shù)

隨著電子顯示向大尺寸和柔性發(fā)展，對導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性能、光學(xué)性能和柔性要求越來越高。目前市場用量最大的ITO(氧化銦錫)透明導(dǎo)電膜，在導(dǎo)電性能達(dá)到大尺寸觸控要求的同時(shí)導(dǎo)電層脆化、黃化，不適用于大尺寸觸控顯示。新材料中的納米銀線由于具有光學(xué)性能好、柔韌性好和較低方阻等優(yōu)異的綜合性能，成為ITO的最優(yōu)替代材料。

基于納米銀線的導(dǎo)電膜是通過在基底上涂布納米銀線導(dǎo)電墨水形成導(dǎo)電層，從而獲得。在制作中為改善納米銀墨水的長徑比、分散性能會在墨水中引入少量有機(jī)物，在納米銀線的搭接點(diǎn)及表面留存，一定程度上降低了納米銀線的導(dǎo)電性能，此外納米銀線涂層中的有機(jī)物的吸濕性到會導(dǎo)致納米銀在通電使用時(shí)，加速納米銀線的腐蝕；同時(shí)因納米銀線的比表面積較大，在制作過程中在銀線表面不可避免的會形成氧化層，該氧化層也會對納米銀線的導(dǎo)電性能造成影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置，以期起到去除導(dǎo)電膜涂層中的有機(jī)物和銀線表面氧化層從而實(shí)現(xiàn)提高涂層導(dǎo)電效率的作用。

本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置，包括負(fù)壓箱體，所述負(fù)壓箱體內(nèi)設(shè)置有放卷、收卷、等離子處理箱，納米銀導(dǎo)電膜的一端纏繞在放卷上、另一端穿過等離子處理箱之后纏繞在收卷上，所述等離子處理箱上開有一個(gè)進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口外通過一個(gè)進(jìn)氣管連接至氣瓶，所述氣瓶內(nèi)裝有氫氣和保護(hù)氣的混合氣體；

所述等離子處理箱內(nèi)部設(shè)有多個(gè)導(dǎo)輥，每個(gè)導(dǎo)輥的軸線沿前后方向延伸且能轉(zhuǎn)動(dòng)，納米銀導(dǎo)電膜依次纏繞在各個(gè)導(dǎo)輥上，通過多個(gè)導(dǎo)輥使得位于等離子處理箱內(nèi)的納米銀導(dǎo)電膜呈現(xiàn)為多段迂回的結(jié)構(gòu)，位于相鄰的兩個(gè)導(dǎo)輥之間的每段納米銀導(dǎo)電膜的兩側(cè)設(shè)有一組等離子電極，每組等離子電極包括相對設(shè)置的等離子陽極板和等離子陰極板，等離子陽極板和等離子陰極板分別位于納米銀導(dǎo)電膜的兩側(cè)，通過給等離子電極通電，從而在等離子陽極板和等離子陰極板之間形成等離子電場。

進(jìn)一步的，所述等離子處理箱內(nèi)的多個(gè)導(dǎo)輥包括位于上排的上排導(dǎo)輥、位于下排的下排導(dǎo)輥、位于中排左右兩端的兩個(gè)轉(zhuǎn)向?qū)л仯瑑蓚€(gè)轉(zhuǎn)向?qū)л伔謩e靠近放卷和收卷，上排導(dǎo)輥與下排導(dǎo)輥交錯(cuò)排布。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)輥的前后兩端分別通過軸承轉(zhuǎn)動(dòng)支承在等離子處理箱的內(nèi)壁上，所述等離子陽極板和等離子陰極板上下兩端分別與等離子處理箱內(nèi)的插槽相插接。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣管上設(shè)置有氣閥。

本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型提供的一種降低納米銀導(dǎo)電膜表面電阻的等離子處理裝置，其向等離子處理箱內(nèi)通入氫氣和保護(hù)氣的混合氣體，氫氣經(jīng)等離子電極激發(fā)后，有效的處理了納米銀線涂層中的有機(jī)物和氧化層，使納米銀線的導(dǎo)電效率增加。此外，在等離子處理箱內(nèi)設(shè)置多個(gè)導(dǎo)輥，通過多個(gè)導(dǎo)輥使得位于等離子處理箱內(nèi)的納米銀導(dǎo)電膜呈現(xiàn)為多段迂回的結(jié)構(gòu)，再在每段納米銀導(dǎo)電膜的兩側(cè)設(shè)置一組等離子電極，增加了對納米銀導(dǎo)電膜的處理時(shí)間，從而增強(qiáng)了處理效果。

附圖說明