[實用新型]一種降低納米銀導電膜表面電阻的等離子處理裝置

有效

• 申請號: 202020141888.1
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN210984389U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 張梓晗;呂鵬;張寧;張運奇
• 申請（專利權）人: 合肥微晶材料科技有限公司
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H05H1/24
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 孫琴

1.一種降低納米銀導電膜表面電阻的等離子處理裝置，包括負壓箱體，其特征在于：所述負壓箱體內設置有放卷、收卷、等離子處理箱，納米銀導電膜的一端纏繞在放卷上、另一端穿過等離子處理箱之后纏繞在收卷上，所述等離子處理箱上開有一個進氣口，所述進氣口外通過一個進氣管連接至氣瓶，所述氣瓶內裝有氫氣和保護氣的混合氣體；

所述等離子處理箱內部設有多個導輥，每個導輥的軸線沿前后方向延伸且能轉動，納米銀導電膜依次纏繞在各個導輥上，通過多個導輥使得位于等離子處理箱內的納米銀導電膜呈現為多段迂回的結構，位于相鄰的兩個導輥之間的每段納米銀導電膜的兩側設有一組等離子電極，每組等離子電極包括相對設置的等離子陽極板和等離子陰極板，等離子陽極板和等離子陰極板分別位于納米銀導電膜的兩側，通過給等離子電極通電，從而在等離子陽極板和等離子陰極板之間形成等離子電場。

2.如權利要求1所述的一種降低納米銀導電膜表面電阻的等離子處理裝置，其特征在于：所述等離子處理箱內的多個導輥包括位于上排的上排導輥、位于下排的下排導輥、位于中排左右兩端的兩個轉向導輥，兩個轉向導輥分別靠近放卷和收卷，上排導輥與下排導輥交錯排布。

3.如權利要求1所述的一種降低納米銀導電膜表面電阻的等離子處理裝置，其特征在于：所述導輥的前后兩端分別通過軸承轉動支承在等離子處理箱的內壁上，所述等離子陽極板和等離子陰極板上下兩端分別與等離子處理箱內的插槽相插接。

4.如權利要求1所述的一種降低納米銀導電膜表面電阻的等離子處理裝置，其特征在于：所述進氣管上設置有氣閥。