[實用新型]一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置

有效

• 申請號: 202020138768.6
• 申請日: 2020-01-21
• 公開（公告）號: CN211445887U
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 魯聰達;丁杰;馬毅;黃先偉;俞越翎;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置，其特征在于，包括磁控濺射靶（1）、設置在磁控濺射靶（1）頂部的擋板（2）及設置在擋板（2）上的擋板打開裝置，所述擋板打開裝置包括聯軸套筒（5）、第一電機（12）、第一鋼絲繩（3）及第一轉軸（11），所述聯軸套筒（5）固定設置在擋板（2）上，所述第一轉軸（11）設置在第一電機（12）上，所述第一鋼絲繩（3）一端與聯軸套筒（5）固定連接，另一端與第一轉軸（11）固定連接；所述擋板（2）上還設有擋板輔助打開裝置，所述擋板輔助打開裝置包括第二電機（13）、第二轉軸（8）、第二鋼絲繩（4）及收繩輪，所述第二轉軸（8）與第二電機（13）相連，所述收繩輪設置在第二轉軸（8）上端位置處，所述第二鋼絲繩（4）一端與擋板（2）固定，另一端與收繩輪固定。

2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置，其特征在于，所述第一轉軸（11）的上端相對位置處設有第一固定銷（9）及第二固定銷（10），所述第一鋼絲繩（3）通過第一固定銷（9）及第二固定銷（10）夾緊在第一轉軸（11）內。

3.根據權利要求1所述的一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置，其特征在于，所述聯軸套筒（5）上設有夾緊螺母（6），所述第一鋼絲繩（3）通過夾緊螺母（6）固定在聯軸套筒（5）上。

4.根據權利要求1所述的一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置，其特征在于，所述收繩輪上設有限位槽，所述第二鋼絲繩（4）繞設在限位槽內。

5.根據權利要求1所述的一種磁控濺射儀擋板輔助打開裝置，其特征在于，所述收繩輪上設有限位銷（7），所述第二鋼絲繩（4）一端固定在限位銷（7）上。