[實用新型]一種固定晶圓用靜電吸盤

有效

• 申請號: 202020126023.8
• 申請日: 2020-01-20
• 公開（公告）號: CN211629057U
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 廖海濤;呂軍
• 申請（專利權）人: 無錫市邑勉微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 常州唯思百得知識產權代理事務所(普通合伙) 32325
• 代理人: 金輝

1.一種固定晶圓用靜電吸盤，具有晶圓固定單元(10)；其特征在于：所述晶圓固定單元(10)包括底盤(1)以及設置在底盤(1)下端的電容盤(2)；所述底盤(1)和電容盤(2)通過輔助安裝單元進行定位安裝；所述電容盤(2)內設有冷卻通道(28)，用于對其進行冷卻；所述電容盤(2)的下端面固定連接有位移單元(30)；所述位移單元(30)的輸出可貫穿晶圓固定單元(10)帶動晶圓升降。

2.根據權利要求1所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述輔助安裝單元包括底盤(1)上設置的兩個凹槽(12)和電容盤(2)上設置的2個凸起(22)；所述凹槽(12)與凸起(22)位置相對應設置，且凹槽(12)與凸起(22)互補設置。

3.根據權利要求2所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：兩個所述凹槽(12)的大小和/或形狀不同。

4.根據權利要求1所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述底盤(1)的中央設有放置臺(11)；所述放置臺(11)上設置有貫穿底盤(1)的小孔洞(110)和大孔洞(111)；所述大孔洞(111)的數量為4，小孔洞(110)數量為多個；所述大孔洞(111)包括上部分和下部分，上部分和下部分連通。

5.根據權利要求4所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述大孔洞(111)的上部分孔徑＜大孔洞(111)的下部分孔徑，且在下部分孔徑對應的孔洞垂直方向上設有通道(112)；所述大孔洞(111)下部分孔徑對應的孔洞與通道(112)連通。

6.根據權利要求1或5所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述底盤(1)的下端面上還設置有第一凹槽(113)以及與該第一凹槽(113)連通的U形孔(114)；所述U形孔(114)貫穿底盤(1)。

7.根據權利要求1所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述電容盤(2)上設置有貫穿盤體的安裝孔(21)和第一連接孔(00)；所述安裝孔(21)有4個，其位置與底盤(1)上設置的大孔洞(111)位置相對應；所述電容盤(2)的上端面設置有環形槽(24)；所述環形槽(24)徑向延伸方向上設有輔助槽(25)；所述輔助槽(25)與環形槽(24)連通。

8.根據權利要求1或7所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述電容盤(2)下端面還設有冷卻水進口(26)和冷卻水出口(27)；所述冷卻通道(28)由冷卻水進口(26)處經內周延伸至外周，再延伸至內周至冷卻水出口(27)處。

9.根據權利要求1所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述電容盤(2)下端面還設置有背氦連接孔；所述背氦連接孔設置在一條直徑上；所述背氦連接孔包括第二連接孔(01)和第三連接孔(02)。

10.根據權利要求8所述的一種固定晶圓用靜電吸盤，其特征在于：所述位移單元(30)包括密封隔離波紋管裝置(31)和升降裝置(32)；所述升降裝置(32)通過連接器(33)與密封隔離波紋管裝置(31)連接；所述密封隔離波紋管裝置(31)的輸出軸穿過安裝孔(21)。