[實用新型]一種掃描探針電阻測試系統

有效

• 申請號: 202020121747.3
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN211785799U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 張海濤
• 申請（專利權）人: 天津丘山儀器科技有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 天津英揚昊睿專利代理事務所(普通合伙) 12227
• 代理人: 吳揚

一種掃描探針電阻測試系統，包括基準平板、Y軸位移臺、支撐結構、X軸位移臺、Z軸位移臺、顯微攝像頭、探針頭、導線、測量儀表、計算機、位移臺控制器、數據線、樣品托盤，基準平板上設有Y軸位移臺，Y軸位移臺一端的基準平板上豎直設有支撐結構，支撐結構頂部設有X軸位移臺，X軸位移臺中間位置設有Z軸位移臺，Z軸位移臺上固定安裝有探針頭，基準平板的一側設有計算機。本實用新型的優點在于：可以實現用程序自動測量和更換樣品點，從而完成大量樣品尤其是樣品電阻分布的測量，系統包含顯微攝像頭，用于監控測試過程、定位樣品點位置、觀察樣品及探針狀態等，基準平板用于提供基準平面，有助于樣品的精確定位。

技術領域

本實用新型涉及一種測試系統，尤其涉及一種掃描探針電阻測試系統。

背景技術

電阻測試儀，是測量物體導電性的一種儀器，電阻測試儀被廣泛的應用于電氣安全檢查與接地工程竣工驗等場合，電阻測試儀的種類比較多，包括接地電阻測試儀、絕緣電阻測試儀、接地電阻測試儀、直流電阻測量儀、表面電阻測試儀以及回路電阻測試儀。

傳統電阻測量儀采用手動方法定位測試點位置，一次只能測量一個樣品，這種方式對于少量樣品是可以接受的，但是對于大量樣品，尤其是對于膜層的電阻分布這類測試任務則難以勝任。因此，需要設計一種可以對大批量樣品進行測試的測試系統。

發明內容

根據以上技術問題，本實用新型提供一種掃描探針電阻測試系統，包括基準平板、Y軸位移臺、支撐結構、X軸位移臺、Z軸位移臺、顯微攝像頭、探針頭、導線、測量儀表、計算機、位移臺控制器、數據線、樣品托盤，所述基準平板上設有Y軸位移臺，所述Y軸位移臺一端的基準平板上豎直設有支撐結構，所述支撐結構頂部設有X軸位移臺，所述X軸位移臺一端設有顯微攝像頭，所述X軸位移臺中間位置設有Z軸位移臺，所述Z軸位移臺上固定安裝有探針頭，所述探針頭通過螺栓實現與Z軸位移臺的固定，所述基準平板的一側設有計算機，所述計算機分別通過數據線與測量儀表、位移臺控制器相連接，所述計算機通過導線與顯微攝像頭連接，所述測量儀表與探針頭、位移臺控制器與Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺分別通過導線實現電連接，所述Y軸位移平臺上設有樣品托盤，所述樣品托盤通過螺栓與Y軸位移平臺實現固定連接。

進一步的，所述支撐結構為兩根相對于基準平板中線對稱設置的立柱。

進一步的，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺均為直線導軌。

進一步的，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺均由電機驅動。

進一步的，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺上還設有編碼器或光柵尺。

進一步的，所述測量儀表為直流歐姆表，或者直流電橋，或者交流電橋，或者電化學工作站，或者交流阻抗測試儀。

本實用新型的有益效果為：本實用新型為一種掃描探針電阻測試系統，該系統用計算機控制三維位移臺實現樣品測試點的定位和探針與樣品的接觸與斷開，這樣可以實現用程序自動測量和更換樣品點，從而完成大量樣品尤其是樣品電阻分布的測量，位移臺的運動控制、電阻測試、數據存儲和可視化由安裝在計算機上的軟件自動完成，該系統可以廣泛應用于半導體工藝檢測、平板顯示器工藝檢測以及新材料開發等諸多領域，系統包含顯微攝像頭，用于監控測試過程、定位樣品點位置、觀察樣品及探針狀態等，基準平板用于提供基準平面，有助于樣品的精確定位。

附圖說明

圖1為本實用新型主體結構圖；

圖2為四探針其中一種形式的排列方式；

圖3為四探針另一種形式的排列方式。

如圖，基準平板-1、Y軸位移臺-2、支撐結構-3、X軸位移臺-4、Z軸位移臺-5、顯微攝像頭-6、探針頭-7、導線-8、測量儀表-9、計算機-10、位移臺控制器-11、數據線-12、樣品托盤-13、樣品-14。