[實用新型]一種掃描探針電阻測試系統

有效

• 申請號: 202020121747.3
• 申請日: 2020-01-19
• 公開（公告）號: CN211785799U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 張海濤
• 申請（專利權）人: 天津丘山儀器科技有限公司
• 主分類號: G01R27/02
• 分類號: G01R27/02
• 代理公司: 天津英揚昊睿專利代理事務所(普通合伙) 12227
• 代理人: 吳揚

1.一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，包括基準平板、Y軸位移臺、支撐結構、X軸位移臺、Z軸位移臺、顯微攝像頭、探針頭、導線、測量儀表、計算機、位移臺控制器、數據線、樣品托盤，所述基準平板上設有Y軸位移臺，所述Y軸位移臺一端的基準平板上豎直設有支撐結構，所述支撐結構頂部設有X軸位移臺，所述X軸位移臺一端設有顯微攝像頭，所述X軸位移臺中間位置設有Z軸位移臺，所述Z軸位移臺上固定安裝有探針頭，所述探針頭通過螺栓實現與Z軸位移臺的固定，所述基準平板的一側設有計算機，所述計算機分別通過數據線與測量儀表、位移臺控制器相連接，所述計算機通過導線與顯微攝像頭連接，所述測量儀表與探針頭、位移臺控制器與Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺分別通過導線實現電連接，所述Y軸位移平臺上設有樣品托盤，所述樣品托盤通過螺栓與Y軸位移平臺實現固定連接。

2.按照權利要求1所述的一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，所述支撐結構為兩根相對于基準平板中線對稱設置的立柱。

3.按照權利要求1所述的一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺均為直線導軌。

4.按照權利要求3所述的一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺均由電機驅動。

5.按照權利要求1所述的一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，所述Y軸位移臺、X軸位移臺、Z軸位移臺上還設有編碼器或光柵尺。

6.按照權利要求1所述的一種掃描探針電阻測試系統，其特征在于，所述測量儀表為直流歐姆表，或者直流電橋，或者交流電橋，或者電化學工作站，或者交流阻抗測試儀。