[實(shí)用新型]化學(xué)沉積系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020111872.6
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN211897111U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭文鋒;許吉昌;孫尚培;連傳泰
• 申請（專利權(quán)）人: 先豐通訊股份有限公司
• 主分類號: C23C18/38
• 分類號: C23C18/38;C23C18/16;H05K3/18
• 代理公司: 北京申翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 趙夢雯;艾晶

1.一種化學(xué)沉積系統(tǒng)，主要具有一槽體，該槽體內(nèi)容置有一化學(xué)鍍液，可供一加工物置入進(jìn)行化學(xué)沉積；其特征在于：

該槽體的內(nèi)壁為導(dǎo)電材料，具有一犧牲陰極以及一電源，該犧牲陰極浸置于該化學(xué)鍍液，而該電源的一正極連接于該內(nèi)壁，該電源的一負(fù)極則連接于該犧牲陰極。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于，該槽體以導(dǎo)電材料一體制成。

3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于，該槽體于該內(nèi)壁固定至少一層導(dǎo)電層。

4.如權(quán)利要求1至3任一所述的化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于，該電源為整流器。

5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于，該電源提供1伏特至2伏特的電壓。

6.如權(quán)利要求1至3任一所述的化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于，該內(nèi)壁的導(dǎo)電材料包括不銹鋼，而該犧牲陰極的材料包括鈦、鐵或前述金屬的合金，該化學(xué)鍍液包括一銅離子水溶液。