[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020106804.0
• 申請(qǐng)日: 2020-01-17
• 公開（公告）號(hào): CN211785667U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖體春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市森東寶科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R1/073;G01R31/26
• 代理公司: 深圳市中興達(dá)專利代理有限公司 44637
• 代理人: 林麗明

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)，包括針座平臺(tái)、密閉罩、透視罩和載物臺(tái)，所述針座平臺(tái)中部開設(shè)通孔，所述密閉罩固接于針座平臺(tái)通孔的下方，針座平臺(tái)、密閉罩、透視罩組成一個(gè)非絕對(duì)密封的密閉環(huán)境，載物臺(tái)置于其中，一方面通過制冷劑的循環(huán)讓放置半導(dǎo)體器件的載物臺(tái)降溫，另一方面通過合適長(zhǎng)度的管道將制冷劑通入密閉環(huán)境中，在傳輸過程中制冷劑氣化，將密閉環(huán)境中的空氣(含水蒸氣)排出，形成一個(gè)干燥的環(huán)境，避免載物臺(tái)上被測(cè)的半導(dǎo)體件在低溫環(huán)境下結(jié)霜，提升半導(dǎo)體器件測(cè)試的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)。

背景技術(shù)

探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及芯片上的高精密電學(xué)測(cè)量。隨著行業(yè)的發(fā)展，被測(cè)器件的種類越來越多，要求也越來越復(fù)雜，探針臺(tái)的功能必須有相應(yīng)的提升。被測(cè)器件對(duì)于被測(cè)環(huán)境的要求越來越多，不同溫度的變化是其中非常重要的要求，在此基礎(chǔ)上，測(cè)試效率也是不可忽視的重要因素。

現(xiàn)有探針臺(tái)能達(dá)到零下溫度的情況都是在真空環(huán)境中，如果在非真空環(huán)境中，達(dá)到零度之后就會(huì)結(jié)霜，這樣的測(cè)試溫度不準(zhǔn)確。而在真空環(huán)境中，需要花很長(zhǎng)時(shí)間讓探針臺(tái)達(dá)到真空狀態(tài)，特別是不方便更換樣品，每次都要破了真空之后放入樣品再重新花很長(zhǎng)時(shí)間去達(dá)到真空狀態(tài)，這樣嚴(yán)重的降低了測(cè)試效率；并且能夠制造真空環(huán)境的探針臺(tái)的成本相對(duì)較高。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)，實(shí)現(xiàn)探針臺(tái)在非真空環(huán)境中達(dá)到低于零度的溫度，并避免被測(cè)半導(dǎo)體器件結(jié)霜的現(xiàn)象。

一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)，包括針座平臺(tái)、密閉罩、透視罩和載物臺(tái)，所述針座平臺(tái)中部開設(shè)通孔，所述密閉罩固接于針座平臺(tái)通孔的下方，所述透視罩固接于針座平臺(tái)通孔的上方，針座平臺(tái)、密閉罩和透視罩形成密閉的空間，所述載物臺(tái)安裝于該密閉的空間內(nèi)，并且載物臺(tái)設(shè)置制冷劑循環(huán)通道，密閉罩開設(shè)轉(zhuǎn)接口，制冷劑一路通過轉(zhuǎn)接口直接通入該密閉的空間內(nèi)，另一路通過轉(zhuǎn)接口與制冷劑循環(huán)通道相接。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述制冷劑循環(huán)通道包括制冷劑進(jìn)接口和制冷劑出接口，所述密閉罩開設(shè)三個(gè)轉(zhuǎn)接口，其中兩個(gè)轉(zhuǎn)接口通過循環(huán)管與制冷劑進(jìn)接口和制冷劑出接口相接，另一個(gè)轉(zhuǎn)接口通過傳輸管直接導(dǎo)入針座平臺(tái)、密閉罩和載物臺(tái)形成密閉的空間內(nèi)。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述載物臺(tái)底部設(shè)置載物臺(tái)安裝座，密閉罩可移動(dòng)安裝于所述載物臺(tái)安裝座上，并且所述密閉罩設(shè)置柜門。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述載物臺(tái)上的中心設(shè)置吸附孔，并且以所述吸附孔為中心設(shè)置若干圈吸附環(huán)。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述針座平臺(tái)上環(huán)繞透視罩設(shè)置若干針座，所述針座上固定連接探針夾具，所述探針夾具上固定連接探針。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述透視罩開設(shè)探針孔，探針穿設(shè)過探針孔置于密閉空間內(nèi)的載物臺(tái)上方。

作為本實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的進(jìn)一步改進(jìn)，所述載物臺(tái)還設(shè)置加熱元件和溫度傳感器，加熱元件和溫度傳感器與溫度控制裝置相接。

該實(shí)用新型一種用于半導(dǎo)體器件的非真空變溫測(cè)試探針臺(tái)的有益效果：針座平臺(tái)、密閉罩、透視罩組成一個(gè)非絕對(duì)密封的密閉環(huán)境，載物臺(tái)置于其中，一方面通過制冷劑的循環(huán)讓放置半導(dǎo)體器件的載物臺(tái)降溫，另一方面通過合適長(zhǎng)度的管道將制冷劑通入密閉環(huán)境中，在傳輸過程中制冷劑氣化，將密閉環(huán)境中的空氣(含水蒸氣)排出，形成一個(gè)干燥的環(huán)境，避免載物臺(tái)上被測(cè)的半導(dǎo)體件在低溫環(huán)境下結(jié)霜。

附圖說明