[實用新型]一種提升液體金屬有機源使用量的裝置

有效

• 申請號: 202020094448.5
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN212156650U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 俞冬雷
• 申請（專利權）人: 安徽亞格盛電子新材料有限公司
• 主分類號: F17D1/00
• 分類號: F17D1/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 胡定華

本實用新型提供一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，包括備用鋼瓶，備用鋼瓶上設置有備用鋼瓶進氣閥門、備用鋼瓶出氣閥門及備用鋼瓶旁路閥，備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門分別設置在備用鋼瓶上端兩側，備用鋼瓶旁路閥設置在備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門之間，備用鋼瓶旁設置有使用瓶，使用瓶上設置有使用瓶進氣閥門、使用瓶出氣閥門以及使用瓶旁路閥，使用瓶進氣閥門和使用瓶出氣閥門設置在使用瓶的上端兩側，使用瓶旁路閥設置在使用瓶進氣閥門和使用瓶出氣閥門之間，備用鋼瓶直接在室溫下使用，使用瓶設置在恒溫水槽內使用。備用瓶在使用瓶正常使用剩余30%以內切換至備用瓶模式。簡化裝置、降低成本、提高安全性。

技術領域

本實用新型涉及金屬有機源領域，尤其涉及一種提升液體金屬有機源使用量的裝置。

背景技術

目前在使用金屬有機源時，需求量逐步增加，而限于機臺尺寸以及配套恒溫水槽規格，金屬有機源包裝鋼瓶尺寸有限。以往一些專利設計需要增加復雜的控制系統，在生產過程中將金屬有機源逐步補充到使用鋼瓶中來加大使用量，伴隨著一系列的控制風險和安全隱患。因此，解決目前生產過程中金屬有機源包裝瓶尺寸不足導致存在控制風險和安全隱患的問題就顯得尤為重要了。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型的目的是提供一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，通過對液態金屬有機源使用狀態的精確計算，提供了一種簡便易行的裝置，取消了復雜的液位監測和閥門控制系統，大大降低了成本并提高了操作的簡便性，解決了目前生產過程中金屬有機源包裝瓶尺寸不足導致存在控制風險和安全隱患的問題。

本實用新型提供一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，包括備用鋼瓶，所述備用鋼瓶上設置有備用鋼瓶進氣閥門、備用鋼瓶出氣閥門及備用鋼瓶旁路閥，所述備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門分別設置在備用鋼瓶上端兩側，備用鋼瓶旁路閥設置在備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門之間，所述備用鋼瓶旁設置有使用瓶，所述使用瓶上設置有使用瓶進氣閥門、使用瓶出氣閥門以及使用瓶旁路閥，使用瓶進氣閥門和使用瓶出氣閥門設置在使用瓶的上端兩側，使用瓶旁路閥設置在使用瓶進氣閥門和使用瓶出氣閥門之間，所述備用鋼瓶直接在室溫下使用，所述使用瓶設置在恒溫水槽內使用。

進一步改進在于：所述備用鋼瓶下端設置有電子秤，通過電子秤對備用鋼瓶的重量進行稱量。

進一步改進在于：所述備用鋼瓶旁路閥和使用瓶旁路閥直接與備用鋼瓶及使用瓶組合制造，或者備用鋼瓶旁路閥和使用瓶旁路閥獨立制造且與備用鋼瓶及使用瓶通過VCR接口連接。

進一步改進在于：裝置的工作狀態分為兩種，一種為正常使用，一種為超量使用，正常使用時，備用鋼瓶旁路閥打開，備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門關閉，備用鋼瓶處于備用狀態；超量使用階段，備用鋼瓶旁路閥關閉，備用鋼瓶進氣閥門和備用鋼瓶出氣閥門打開，備用鋼瓶處于使用狀態。

具體設計計算如下：

使用瓶中液態源飽和濃度為C1；備用瓶中液態源飽和濃度為C2；使用瓶剩余X%時，進入超量狀態，控制適當的X%可以保證超量使用模式下，使用瓶不會溢出。

以17KgTMGa為例，使用瓶（17Kg）極端使用條件（5°C，800torr）。對應飽和蒸汽壓為：88.59torr；室溫條件下備用瓶（17Kg）極端條件（25°C，800torr）對應飽和蒸汽壓為：228.09。備注：TMGa飽和蒸汽壓公式：logP=8.07-1703/T。

正常使用階段，使用瓶消耗速率正比于88.59；超量階段，由于備瓶超量供應高濃度TMGa，使得使用瓶內TMGa增加，增加速率正比于（228.09-88.59）。因此，在使用瓶消耗1Kg的同條件下，超量使用時，使用瓶新增約（228.09-88.59）/88.59=1.57kg.

因此，對于使用瓶來說，剩余百分比x%時，可以進入超量使用狀態。X計算如下：2.57X=1；X=38.9%。