[實用新型]一種提升液體金屬有機源使用量的裝置

有效

• 申請號: 202020094448.5
• 申請日: 2020-01-16
• 公開（公告）號: CN212156650U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 俞冬雷
• 申請（專利權）人: 安徽亞格盛電子新材料有限公司
• 主分類號: F17D1/00
• 分類號: F17D1/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 胡定華

1.一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，包括備用鋼瓶（4），所述備用鋼瓶（4）上設置有備用鋼瓶進氣閥門（2）、備用鋼瓶出氣閥門（3）及備用鋼瓶旁路閥（1），所述備用鋼瓶進氣閥門（2）和備用鋼瓶出氣閥門（3）分別設置在備用鋼瓶（4）上端兩側，備用鋼瓶旁路閥（1）設置在備用鋼瓶進氣閥門（2）和備用鋼瓶出氣閥門（3）之間，所述備用鋼瓶（4）旁設置有使用瓶（9），所述使用瓶（9）上設置有使用瓶進氣閥門（7）、使用瓶出氣閥門（8）以及使用瓶旁路閥（6），使用瓶進氣閥門（7）和使用瓶出氣閥門（8）設置在使用瓶（9）的上端兩側，使用瓶旁路閥（6）設置在使用瓶進氣閥門（7）和使用瓶出氣閥門（8）之間，其特征在于：所述備用鋼瓶（4）直接在室溫下使用，所述使用瓶（9）設置在恒溫水槽（10）內使用。

2.如權利要求1所述的一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，其特征在于：所述備用鋼瓶（4）下端設置有電子秤（5），通過電子秤（5）對備用鋼瓶（4）的重量進行稱量。

3.如權利要求1所述的一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，其特征在于：所述備用鋼瓶旁路閥（1）和使用瓶旁路閥（6）直接與備用鋼瓶（4）及使用瓶（9）組合制造，或者備用鋼瓶旁路閥（1）和使用瓶旁路閥（6）獨立制造且與備用鋼瓶（4）及使用瓶（9）通過VCR接口連接。

4.如權利要求1所述的一種提升液體金屬有機源使用量的裝置，其特征在于：裝置的工作狀態分為兩種，一種為正常使用，一種為超量使用，正常使用時，備用鋼瓶旁路閥（1）打開，備用鋼瓶進氣閥門（2）和備用鋼瓶出氣閥門（3）關閉，備用鋼瓶處于備用狀態；超量使用階段，備用鋼瓶旁路閥（1）關閉，備用鋼瓶進氣閥門（2）和備用鋼瓶出氣閥門（3）打開，備用鋼瓶處于使用狀態。