[實用新型]一種蒸鍍坩堝及裝置

有效

• 申請號: 202020071029.X
• 申請日: 2020-01-14
• 公開（公告）號: CN211522306U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 喬小平
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 徐劍兵;張忠波

本實用新型公開了一種蒸鍍坩堝及裝置包括：坩堝本體、坩堝上蓋；所述坩堝本體為具有開口的中空結構，且所述坩堝上蓋設置于所述坩堝本體上。所述坩堝上蓋還包括有出料口，出料口中空且與坩堝本體內部連通，所述出料口可活動的設置于所述坩堝上蓋上，出料口活動時使得出料口與坩堝上蓋的夾角發生變化。發明通過設置一種可調節蒸鍍角度的出料口，其可以根據需要調節出料口的方向從而改變蒸鍍角，避免出現蒸鍍不均勻的現象。該坩堝的出料口方向可以調節，以適應不同的材料和加熱條件，使得出料口可以根據實際需要改變蒸鍍角。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍制程技術領域，尤其是一種蒸鍍坩堝及裝置。

背景技術

有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)憑借其優秀的顯示特性，經過數十年的發展，已經廣泛應用在顯示,照明領域，是最具發展前景的顯示技術。

OLED器件的發光部分主要是由有機材料構成，有機材料在真空腔中，通過物理氣相沉積法在基板表面形成多層的有機膜層：將有機材料放置在真空腔內的坩堝中加熱，材料受熱之后氣化或者升華，其蒸氣沉積在溫度比較低的基板上，形成多層膜結構的OLED器件。在OLED器件中，有些膜層是由單一的材料構成的，有些膜層是由兩種(或兩種以上)的材料構成的，這就需要將多種材料共同蒸鍍，形成摻雜的膜層。摻雜的均勻性制備過程中一個重要的考量點。

盛放有機材料的坩堝是蒸鍍過程中的要使用到的一個關鍵部件，坩堝一般由盛放材料的部分和坩堝蓋構成，坩堝蓋子上有出料口。一般的坩堝的出料口都和是和坩堝蓋一體成型的，出料口的位置是相對固定的。受熱的材料蒸氣從出料口出來之后，會呈一定的角度向基板方向運動。由于材料的不同，加熱條件的不同，材料蒸氣出射的角度會有所不同。這會給幾種材料的共蒸鍍時膜層摻雜的均勻性帶來不確定的因素。

實用新型內容

為此，需要提供一種蒸鍍坩堝及裝置，解決材料蒸氣出射角度不固定，導致摻雜的均勻性欠佳等問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種蒸鍍坩堝，包括：坩堝本體、坩堝上蓋；所述坩堝本體為具有開口的中空結構，且所述坩堝上蓋設置于所述坩堝本體上；

所述坩堝上蓋還包括有出料口，出料口中空且與坩堝本體內部連通，所述出料口可活動的設置于所述坩堝上蓋上，出料口活動時使得出料口與坩堝上蓋的夾角發生變化。

進一步地，還包括：限位裝置；所述限位裝置設置于所述坩堝上蓋上，用于固定出料口保持出料口與坩堝上蓋的夾角不變。

進一步地，所述限位裝置通過磁吸方式設置于所述坩堝上蓋上。

進一步地，所述出料口與坩堝上蓋通過球形可活動機構相連接；

所述球形可活動機構嵌設于所述坩堝上蓋上，且所述出料口貫穿設置于球形可活動機構上。

進一步地，所述球形可活動機構半徑為R，所述球形可活動機構超出坩堝上蓋的上、下兩部分高度分別為L1、L2，且0.2R≤L1≤0.6R，0.2R≤L2≤0.6R。

進一步地，所述坩堝上蓋朝一側傾斜。

發明人還提供了一種蒸鍍坩堝裝置，包括多個任意實施例所述蒸鍍坩堝。

進一步地，所述一種蒸鍍坩堝裝置包括三個所述蒸鍍坩堝；

位于中間的蒸鍍坩堝的坩堝上蓋與水平方向平行，位于兩側的蒸鍍坩堝的坩堝上蓋朝中間傾斜。