[實用新型]一種超精密高效硅片雙面研磨設備

有效

• 申請號: 202020036499.2
• 申請日: 2020-01-08
• 公開（公告）號: CN211728758U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 丁杰
• 申請（專利權）人: 深圳市新順鑫科技有限公司
• 主分類號: B24B37/08
• 分類號: B24B37/08;B24B55/06
• 代理公司: 深圳市新虹光知識產權代理事務所(普通合伙) 44499
• 代理人: 郭長龍

1.一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：包括機殼，所述機殼的頂端一側設有支架，所述支架的頂端設有氣缸，所述氣缸貫穿支架且底端連接有上研磨盤，所述上研磨盤正下方的機殼上設有支撐座，所述支撐座上設有下研磨盤，所述下研磨盤的中部設置有主動輪，所述主動輪與設置在支撐座內的傳動電機相連接，所述下研磨盤的內壁上設有吸塵機構，所述吸塵機構延伸至機殼內部并與除塵箱相連通。

2.根據權利要求1所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述下研磨盤內均勻設置有多個研磨轉圈，所述研磨轉圈的一端與主動輪相嚙合。

3.根據權利要求2所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述下研磨盤的下部內壁上設有輪齒，所述輪齒與研磨轉圈的另一端相嚙合。

4.根據權利要求3所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述氣缸的輸出端設置有固定軸承，所述固定軸承的內圈與上研磨盤相連接。

5.根據權利要求1-4任一項所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述吸塵機構包括設置在下研磨盤下部兩側的連接管，所述下研磨盤的內側上部均勻設置有多個吸塵孔，所述吸塵孔連通連接管。

6.根據權利要求5所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：兩個所述連接管均貫穿機殼上壁并與設置在機殼內部的三通相連接，所述三通的底端連通除塵箱，所述除塵箱內的上部設置有抽風機，所述抽風機的出氣口正對于除塵箱下部。

7.根據權利要求6所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述除塵箱內的中部設置有過濾網，所述過濾網的下方設置有活性炭網，所述活性炭網的下部連通設置在機殼底壁上出風口。

8.根據權利要求7所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述過濾網、活性炭網的底端兩側均設置有支撐塊，所述支撐塊均與除塵箱的內壁固定連接。

9.根據權利要求8所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述上研磨盤的中部設置有連接罩，所述連接罩與上研磨盤一體成型。

10.根據權利要求9所述的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，其特征在于：所述連接罩的內壁上設置有與主動輪相嚙合的齒輪槽，且所述連接罩套接在主動輪的上方。