[實用新型]一種超精密高效硅片雙面研磨設備

有效

• 申請號: 202020036499.2
• 申請日: 2020-01-08
• 公開（公告）號: CN211728758U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 丁杰
• 申請（專利權）人: 深圳市新順鑫科技有限公司
• 主分類號: B24B37/08
• 分類號: B24B37/08;B24B55/06
• 代理公司: 深圳市新虹光知識產權代理事務所(普通合伙) 44499
• 代理人: 郭長龍

本實用新型涉及研磨加工設備技術領域，公開了一種超精密高效硅片雙面研磨設備，包括機殼，所述機殼的頂端一側設有支架，所述支架的頂端設有氣缸，所述氣缸貫穿支架且底端連接有上研磨盤，所述上研磨盤正下方的機殼上設有支撐座，所述支撐座上設有下研磨盤，所述下研磨盤的中部設置有主動輪，所述主動輪與設置在支撐座內的傳動電機相連接，所述下研磨盤的內壁上設有吸塵機構，所述吸塵機構延伸至機殼內部并與除塵箱相連通。本實用新型通過設置的吸塵機構，吸塵孔能夠將研磨出的粉塵進行吸收，由于吸塵孔設置為一圈，從而實現每個角度的吸塵，并且過濾網與活性炭網通過支撐塊安裝在除塵箱內部，便于拆卸與清潔，提高了除塵箱的除塵效率。

技術領域

本實用新型涉及研磨加工設備技術領域，尤其涉及一種超精密高效硅片雙面研磨設備。

背景技術

地殼中含量達25.8％的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉。由于硅元素是地殼中儲量最豐富的元素之一，對太陽能電池這樣注定要進入大規模市場的產品而言，儲量的優勢也是硅成為光伏主要材料的原因之一，現有的硅片雙面研磨加工設備為中國專利授權號：CN209304294U公開了一種超精密高效硅片雙面研磨加工設備，包括機殼和研磨盤，所述研磨盤固定連接在機殼表面，所述研磨盤一側設有電動液壓桿和吸塵罩，所述機殼內側壁通過滑軌滑扣連接集塵箱，且集塵箱側壁焊接拉手，所述集塵箱內部分別設有抽風機、活性炭過濾網和水液，所述機殼內部底端分別設有細沙層和陶瓷硅膠板，所述機殼內側壁轉動連接散熱扇，且機殼表面粘接有凸點膠墊。

現有超精密高效硅片雙面研磨設備的不足之處：由于硅片研磨過程中粉塵是從四側散出的，采用電動液壓桿僅能夠對一側的粉塵進行吸收，因此吸塵效果較差，無法全面消除研磨時所產生的粉塵。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種超精密高效硅片雙面研磨設備，通過設置的吸塵機構，在上研磨盤與下研磨盤在對硅片進行高效研磨時，吸塵孔能夠將研磨出的粉塵進行吸收，由于吸塵孔設置為一圈，從而實現每個角度的吸塵，并且過濾網與活性炭網通過支撐塊安裝在除塵箱內部，便于拆卸與清潔，提高了除塵箱的除塵效率的優點，解決了現有超精密高效硅片雙面研磨設備由于硅片研磨過程中粉塵是從四側散出的，采用電動液壓桿僅能夠對一側的粉塵進行吸收，因此吸塵效果較差，無法全面消除研磨時所產生的粉的問題。

根據本實用新型實施例的一種超精密高效硅片雙面研磨設備，包括機殼，所述機殼的頂端一側設有支架，所述支架的頂端設有氣缸，所述氣缸貫穿支架且底端連接有上研磨盤，所述上研磨盤正下方的機殼上設有支撐座，所述支撐座上設有下研磨盤，所述下研磨盤的中部設置有主動輪，所述主動輪與設置在支撐座內的傳動電機相連接，所述下研磨盤的內壁上設有吸塵機構，所述吸塵機構延伸至機殼內部并與除塵箱相連通。

進一步地，所述下研磨盤內均勻設置有多個研磨轉圈，所述研磨轉圈的一端與主動輪相嚙合。

進一步地，所述下研磨盤的下部內壁上設有輪齒，所述輪齒與研磨轉圈的另一端相嚙合。

進一步地，所述氣缸的輸出端設置有固定軸承，所述固定軸承的內圈與上研磨盤相連接。

進一步地，所述吸塵機構包括設置在下研磨盤下部兩側的連接管，所述下研磨盤的內側上部均勻設置有多個吸塵孔，所述吸塵孔連通連接管。

進一步地，兩個所述連接管均貫穿機殼上壁并與設置在機殼內部的三通相連接，所述三通的底端連通除塵箱，所述除塵箱內的上部設置有抽風機，所述抽風機的出氣口正對于除塵箱下部。

進一步地，所述除塵箱內的中部設置有過濾網，所述過濾網的下方設置有活性炭網，所述活性炭網的下部連通設置在機殼底壁上出風口。

進一步地，所述過濾網、活性炭網的底端兩側均設置有支撐塊，所述支撐塊均與除塵箱的內壁固定連接。

進一步地，所述上研磨盤的中部設置有連接罩，所述連接罩與上研磨盤一體成型。