[實(shí)用新型]半導(dǎo)體芯片的裂片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020032206.3
• 申請(qǐng)日: 2020-01-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211605104U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;陳晨
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國(guó)

1.半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：包含：

一下劈刀(8)，用于支撐芯片底部；

一真空吸附載臺(tái)(7)，其上安裝真空環(huán)(3)，用于拉緊、固定及調(diào)整芯片；

一上劈刀組，有上劈左刀(2)和上劈右刀(11)，用于裂片；

一影像系統(tǒng)(1)，用于作為基準(zhǔn)面調(diào)整上下劈刀垂直方向平行度以及觀測(cè)芯片；

一X軸向直線平移裝置，用于驅(qū)動(dòng)影像系統(tǒng)沿X軸向左右移動(dòng)；

一Y-θ軸運(yùn)動(dòng)裝置，載臺(tái)安裝于其上，可驅(qū)動(dòng)載臺(tái)及其上的真空環(huán)沿Y軸向前后移動(dòng)和θ軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，用于芯片移動(dòng)裂片；

一短行程平移裝置，上劈左刀和上劈右刀安裝于其上，調(diào)整上劈左刀與上劈右刀之間的張開(kāi)間距；

一Z軸向運(yùn)動(dòng)裝置，短行程平移裝置安裝于其上，調(diào)整上劈左刀和上劈右刀的上下劈裂位置；

所述下劈刀(8)位于真空吸附載臺(tái)行程中間位置的下方，上劈左刀(2)和上劈右刀(11)位于真空吸附載臺(tái)行程中間位置的正上方，上劈左刀(2)和上劈右刀(11)安裝于短行程平移裝置上，短行程平移裝置安裝于Z軸向運(yùn)動(dòng)裝置上，影像系統(tǒng)(1)位于真空吸附載臺(tái)行程中間位置正上方并高于上劈左刀(2)和上劈右刀(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：影像系統(tǒng)(1)與下劈刀(8)處于同一直線上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：下劈刀(8)的刀尖比真空環(huán)(3)高0.5mm～1mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：下劈刀(8)為70度V形刀，材質(zhì)是鎢鋼或白鋼；或者為50度半面劈刀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：上劈左刀(2)和上劈右刀(11)為45度半面劈刀，刀口材質(zhì)是為超細(xì)鎢鋼。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：短行程平移裝置包含安裝座(4)，安裝座(4)的底面通過(guò)第一X軸直線運(yùn)動(dòng)單元(10)連接上劈刀頭移動(dòng)板(5)，可驅(qū)動(dòng)上劈刀頭移動(dòng)板(5)沿X軸向左右移動(dòng)，上劈刀頭移動(dòng)板(5)的底面通過(guò)第二X軸直線運(yùn)動(dòng)單元(12)連接上劈右刀頭安裝板(6)，上劈右刀頭安裝板(6)的底面安裝上劈右刀(11)，可驅(qū)動(dòng)上劈右刀(11)沿X軸向左右移動(dòng)，上劈刀頭移動(dòng)板(5)的底面左端部向下凸設(shè)一凸臺(tái)，凸臺(tái)上安裝上劈左刀(2)，上劈左刀(2)與上劈右刀(11)處于同一水平高度并相對(duì)，用于裝載待裂產(chǎn)品的真空環(huán)(3)位于下部刀頭與上劈左刀(2)和上劈右刀(11)之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體芯片的裂片裝置，其特征在于：所述Y-θ軸運(yùn)動(dòng)裝置包含Y軸運(yùn)動(dòng)單元和θ軸運(yùn)動(dòng)單元，所述Y軸運(yùn)動(dòng)單元包含Y軸底架、Y軸直線導(dǎo)軌、Y軸連接板和控制X軸連接板運(yùn)動(dòng)的Y軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，Y軸直線導(dǎo)軌和Y軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于Y軸底架上，Y軸連接板置于Y軸直線導(dǎo)軌上，Y軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與Y軸連接板驅(qū)動(dòng)連接，從而控制Y軸連接板沿Y軸方向運(yùn)動(dòng)；所述θ軸運(yùn)動(dòng)單元包含旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和載物架，載物架安裝于旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)安裝于Y軸連接板上。