[實(shí)用新型]一種CVD碳化硅進(jìn)氣系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020014529.X
• 申請(qǐng)日: 2020-01-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211713197U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 白秋云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/32
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51217
• 代理人: 潘育敏

1.一種CVD碳化硅進(jìn)氣系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔(1)和混氣罐(3)，所述混氣罐(3)一側(cè)固定連通有三個(gè)供氣管(2)，所述混氣罐(3)另一側(cè)固定連通有進(jìn)氣管(4)，所述反應(yīng)腔(1)一側(cè)設(shè)置有真空泵(8)，所述反應(yīng)腔(1)上還固定連通有出氣管(6)，其特征在于，所述反應(yīng)腔(1)外側(cè)壁上呈周向均勻地固定連接有若干個(gè)固定機(jī)構(gòu)(5)，若干個(gè)所述固定機(jī)構(gòu)(5)上固定連接有通氣管道(7)，且所述通氣管道(7)纏繞在所述反應(yīng)腔(1)外側(cè)壁上，所述進(jìn)氣管(4)與所述通氣管道(7)之間相互連通，所述通氣管道(7)內(nèi)側(cè)呈周向均勻地固定連通有三個(gè)進(jìn)氣口(9)，且三個(gè)所述進(jìn)氣口(9)均分別與所述反應(yīng)腔(1)相連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種CVD碳化硅進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述固定機(jī)構(gòu)(5)包括安裝塊(10)，所述安裝塊(10)固定連接在所述反應(yīng)腔(1)的外側(cè)壁上，所述安裝塊(10)一端固定連接有下夾板(11)，所述下夾板(11)一端固定連接有第一緊固板(12)，所述下夾板(11)上端鉸接有上夾板(15)，且所述上夾板(15)和所述下夾板(11)之間為相對(duì)設(shè)置，所述上夾板(15)一端固定連接有第二緊固板(13)，且所述第一緊固板(12)和所述第二緊固板(13)之間通過(guò)螺栓固定連接在一起，所述通氣管道(7)設(shè)置在所述下夾板(11)和所述上夾板(15)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種CVD碳化硅進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述下夾板(11)和所述上夾板(15)的內(nèi)表面上均分別粘接有保護(hù)層(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種CVD碳化硅進(jìn)氣系統(tǒng)，其特征在于，所述下夾板(11)和所述上夾板(15)均為弧形結(jié)構(gòu)件。