[實用新型]用于半導體加工設備的懸臂推拉舟系統及半導體加工設備

有效

• 申請號: 202020009267.8
• 申請日: 2020-01-03
• 公開（公告）號: CN211320070U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 趙慶峰;于皓潔;王曉飛
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種用于半導體加工設備的懸臂推拉舟系統，其特征在于，包括：支撐梁、滑動組件、承載件和爐門；其中，

所述滑動組件能夠沿所述支撐梁移動；

所述承載件平行于所述支撐梁，用于承載待加工工件；

所述爐門的一側連接于所述滑動組件，另一側連接于所述承載件；

所述滑動組件用于沿所述支撐梁移動并帶動所述爐門和所述承載件移動，待所述承載件進入所述半導體加工設備的反應腔室，所述爐門能夠密封所述反應腔室的入口。

2.根據權利要求1所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，還包括：固定件、支撐法蘭、固定法蘭和彈性部件；其中，

所述固定件的一端與所述滑動組件相連，另一端穿過所述爐門與所述承載件相連；

所述爐門朝向所述滑動組件的表面上設有支撐法蘭；

所述固定法蘭套設于所述固定件上靠近所述滑動組件的一端；

所述彈性部件套設于所述固定件上，且兩端分別與所述支撐法蘭和所述固定法蘭連接。

3.根據權利要求2所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，所述彈性部件為波紋管，所述波紋管的兩端分別與所述支撐法蘭和所述固定法蘭密封連接。

4.根據權利要求2所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，還包括具有多個彎折面的彈性彎折板；其中，

所述彈性彎折板的相鄰兩個彎折面互相垂直，且第一個彎折面與所述爐門朝向所述滑動組件的表面連接，最后一個彎折面與所述固定件連接。

5.根據權利要求2所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，所述固定件靠近所述滑動組件的一端設有封堵板。

6.根據權利要求2所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，所述爐門背離所述滑動組件的表面設有密封板。

7.根據權利要求6所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，所述密封板的周向邊緣設有密封圈。

8.根據權利要求1所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，所述支撐梁上設有滑軌和能夠沿所述滑軌滑動的滑塊，所述滑動組件固定連接于所述滑塊。

9.根據權利要求8所述的懸臂推拉舟系統，其特征在于，還包括驅動裝置，所述驅動裝置用于驅動所述滑塊沿所述滑軌滑動。

10.一種半導體加工設備，包括反應腔室和如權利要求1-9任一項所述的懸臂推拉舟系統，所述懸臂推拉舟系統用于將待加工件傳輸到所述反應腔室內并密封所述反應腔室的入口。