[發(fā)明專利]一種穿戴式金屬掩膜版用蝕刻設(shè)備

在審

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• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112779539A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根
• 申請（專利權(quán)）人: 常州高光半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C25F7/00
• 代理公司: 濟南鼎信專利商標代理事務(wù)所(普通合伙) 37245
• 代理人: 梁國海

本發(fā)明公開了一種穿戴式金屬掩膜版用蝕刻設(shè)備，包括底板，底板的頂部固定安裝有作業(yè)池，作業(yè)池頂部的兩側(cè)均固定安裝有第一導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌的外部活動套接有第一電動導(dǎo)軌，第一電動導(dǎo)軌的相對側(cè)固定安裝有折板，折板的另一端固定安裝有安裝板，第一導(dǎo)軌的一側(cè)開設(shè)有插銷孔，插銷孔的內(nèi)部活動安裝有銷軸。通過第一通電柱和第二通電柱的頂部通過導(dǎo)線與控制箱相連，在作業(yè)池內(nèi)部放入化學(xué)酸堿蝕刻液時，用以電流電壓等方式檢測其酸堿根離子的濃度，減輕了作業(yè)人員的勞動強度，通過第一通電柱和第二通電柱為電解過程通電提供電源，通過設(shè)置蝕刻板槽可以將不同金屬掩膜版安裝卡接在內(nèi)部，優(yōu)化了其對不同膜版適應(yīng)，加強了作業(yè)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種穿戴式金屬掩膜版用蝕刻設(shè)備。

背景技術(shù)

蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻和干蝕刻兩類，最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量儀器鑲板，銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄型工件等的加工；經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。

在蝕刻方式中，一般有化學(xué)溶液腐蝕性蝕刻、電解液電解置換蝕刻和物理性反應(yīng)蝕刻，以上的蝕刻方式，有過多的局限性，其一不能根據(jù)反應(yīng)物的性質(zhì)進行選擇性蝕刻，其二在蝕刻反應(yīng)中如果人工作業(yè)的參與度較高，可能會造成作業(yè)人員的人身安全問題，從而導(dǎo)致了生產(chǎn)效率的降低和安全性的降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種穿戴式金屬掩膜版用蝕刻設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出現(xiàn)有的一種蝕刻設(shè)備在使用過程中，由于現(xiàn)有的蝕刻設(shè)備一般不能根據(jù)反應(yīng)物的性質(zhì)進行選擇性蝕刻，在蝕刻反應(yīng)中如果人工作業(yè)參與度較高，可能會造成作業(yè)人員的人身安全問題，從而導(dǎo)致生產(chǎn)效率的降低和安全性的降低問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種穿戴式金屬掩膜版用蝕刻設(shè)備，包括底板，所述底板的頂部固定安裝有作業(yè)池，所述作業(yè)池頂部的兩側(cè)均固定安裝有第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的外部活動套接有第一電動導(dǎo)軌，所述第一電動導(dǎo)軌的相對側(cè)固定安裝有折板，所述折板的另一端固定安裝有安裝板，所述第一導(dǎo)軌的一側(cè)開設(shè)有插銷孔，所述插銷孔的內(nèi)部活動安裝有銷軸，所述底板頂部的兩側(cè)均開設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)部活動安裝有滑塊，所述滑塊的頂部固定安裝有第一伸縮柱，所述第一伸縮柱的頂部鉸接有第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌的外側(cè)活動套接有第二電動導(dǎo)軌，所述第二電動導(dǎo)軌的底部固定安裝有激光打印器，所述激光打印器的底部活動安裝有激光發(fā)射頭，所述底板的頂部固定安裝有第二伸縮柱，所述第二伸縮柱的頂部鉸接有轉(zhuǎn)板，所述轉(zhuǎn)板的一側(cè)固定安裝有拉伸彈簧，所述拉伸彈簧的另一端固定安裝有吸盤。

優(yōu)選的，所述安裝板的內(nèi)部開設(shè)有蝕刻板槽。

優(yōu)選的，所述安裝板的頂部開設(shè)有凹槽。

優(yōu)選的，所述滑塊的規(guī)格尺寸與滑槽的規(guī)格尺寸相適配。

優(yōu)選的，所述銷軸的規(guī)格尺寸與插銷孔的規(guī)格尺寸相適配。

優(yōu)選的，所述作業(yè)池的一側(cè)開設(shè)有排水口。

優(yōu)選的，所述作業(yè)池底部活動安裝有第一通電柱和第二通電柱，且第一通電柱和第二通電柱分別位于作業(yè)池兩側(cè)的對角線位置。

優(yōu)選的，所述底板的頂部固定安裝有控制箱，所述控制箱的一側(cè)設(shè)置有數(shù)據(jù)輸入口。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：