[發(fā)明專利]雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011639802.9
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN113496913A
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸賢國;樸成煥
• 申請（專利權(quán)）人: 杰宜斯科技有限公司;杰宜斯科技ENP有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 梁小龍

根據(jù)本發(fā)明的雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置的特征在于包括：包括第一流路形成部，連接于介質(zhì)流入部，以供流動(dòng)介質(zhì)流入，并且所述第一流路形成部形成有第一流路部，以供流動(dòng)介質(zhì)流動(dòng)；第二流路形成部，以與所述第一流路部連通的方式形成有第二流路部，并且所述第二流路形成部連接于介質(zhì)排出部，以使所述第二流路部的流動(dòng)介質(zhì)排出；以及氣泡排出部，連接于所述第一流路形成部，以排出混合在所述第一流路部的流動(dòng)介質(zhì)中的氣泡。根據(jù)本發(fā)明，高溫的流動(dòng)介質(zhì)在雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置中流動(dòng)，流動(dòng)介質(zhì)的波長被光吸收，所以在實(shí)際的半導(dǎo)體工序中使用的條件下測量流動(dòng)介質(zhì)的濃度，無需為了提高流動(dòng)介質(zhì)的檢測靈敏度而對流動(dòng)介質(zhì)分多次進(jìn)行化學(xué)處理。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置(FLOW CELL APPARATUS)，更加詳細(xì)地，在流動(dòng)介質(zhì)的使用條件下監(jiān)測流動(dòng)介質(zhì)的狀態(tài)，能夠準(zhǔn)確地測量流動(dòng)介質(zhì)的濃度的雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置。

背景技術(shù)

一般情況下，半導(dǎo)體晶片或太陽能電池等半導(dǎo)體制造工序中執(zhí)行蝕刻工序。在蝕刻工序中，為了蝕刻氮化硅膜，使用如磷酸溶液等高溫的蝕刻溶液(流動(dòng)介質(zhì))。從半導(dǎo)體晶片中溶出硅等溶出物后包含于蝕刻溶液，所以隨著半導(dǎo)體晶片的蝕刻工序的執(zhí)行，蝕刻溶液中的溶出物的濃度增加。如果蝕刻溶液中的溶出物的濃度增加到一定濃度以上，則更換蝕刻溶液。

在蝕刻溶液為高溫的狀態(tài)下難以微量分析硅的濃度，所以收集蝕刻溶液的一部分冷卻到常溫。為了提高冷卻的蝕刻溶液的檢測靈敏度，在進(jìn)行多次化學(xué)處理之后檢測蝕刻溶液的濃度。

但是，以前是將蝕刻溶液冷卻到常溫之后進(jìn)行多次化學(xué)處理，所以根據(jù)蝕刻溶液的溫度差異，檢測誤差范圍增大。因此，在實(shí)際半導(dǎo)體工序中應(yīng)用的使用條件下難以準(zhǔn)確地預(yù)測蝕刻溶液的狀態(tài)。

并且，在將高溫的蝕刻溶液降低至常溫時(shí)，從蝕刻溶液容易析出溶出物，所以有時(shí)難以在蝕刻溶液準(zhǔn)確地測量溶出物的濃度。

并且，為了準(zhǔn)確地測量蝕刻溶液的濃度，分多次進(jìn)行化學(xué)處理，所以在分析濃度的過程中復(fù)雜地形成矩陣，降低分析濃度的準(zhǔn)確性。

在韓國授權(quán)專利公報(bào)第1785859號(2017.09.29授權(quán)，發(fā)明名稱：銅離子檢測用熒光硅納米粒子、其的制造方法以及利用其的檢測傳感器)中公開了本發(fā)明的背景技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的在于提供雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置，在流動(dòng)介質(zhì)的使用條件下監(jiān)測流動(dòng)介質(zhì)的狀態(tài)，能夠準(zhǔn)確地測量流動(dòng)介質(zhì)的濃度。

解決技術(shù)問題的手段

根據(jù)本發(fā)明的雙重管結(jié)構(gòu)流動(dòng)池裝置的特征在于，包括第一流路形成部，連接于介質(zhì)流入部，以供流動(dòng)介質(zhì)流入，并且所述第一流路形成部形成有第一流路部，以供流動(dòng)介質(zhì)流動(dòng)；第二流路形成部，以與所述第一流路部連通的方式形成有第二流路部，并且所述第二流路形成部連接于介質(zhì)排出部，以使所述第二流路部的流動(dòng)介質(zhì)排出；以及氣泡排出部，連接于所述第一流路形成部，以排出混合在所述第一流路部的流動(dòng)介質(zhì)中的氣泡。

所述第二流路形成部可以配置在所述第一流路形成部的內(nèi)部。

所述第一流路形成部可以包括：外部殼體，連接所述介質(zhì)流入部和所述氣泡排出部；以及透光部，分別形成在所述外部殼體的兩側(cè)，以使光透過。

所述第二流路形成部可以包括：內(nèi)部殼體，所述內(nèi)部殼體的兩側(cè)被開口，以連通所述第一流路部和所述第二流路部，并且所述內(nèi)部殼體與所述介質(zhì)排出部連接；以及氣泡分離部，形成于所述內(nèi)部殼體的外側(cè)面。

所述外部殼體和所述內(nèi)部殼體可以配置為雙重管形狀。

所述氣泡排出部可以配置在所述外部殼體的上側(cè)，以排出從流動(dòng)介質(zhì)分離的氣泡。

所述氣泡排出部可以分別形成在所述外部殼體的兩側(cè)端部。