[發(fā)明專利]一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011638435.0
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN112853327B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 季宇;劉文科;季天仁
• 申請（專利權(quán)）人: 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/511
• 分類號(hào): C23C16/511;C23C16/27;C23C16/54;C23C16/52
• 代理公司: 北京卓恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 孔鵬

本發(fā)明提供了一種等微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，屬于微波技術(shù)領(lǐng)域。上述等離子體設(shè)備主機(jī)包括機(jī)架、真空腔基座、腔蓋及升降裝置；真空腔基座與機(jī)架連接，真空腔基座的中部設(shè)置有樣品基片臺(tái)；腔蓋能夠與真空基座進(jìn)行密封配合。升降裝置的底部與機(jī)架連接，上部與腔蓋連接，升降裝置能夠帶動(dòng)腔蓋上下移動(dòng)。使用時(shí)，通過操作升降裝置起吊或下降，從而將腔蓋打開或扣合在真空腔基座上。采用上述升降裝置后，其不僅提高了工作效率，還降低了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。

背景技術(shù)

金剛石具有高硬度、高熱導(dǎo)率、低膨脹系數(shù)、高透光性、高電阻率以及高載流遷移率等優(yōu)異性能，促使其在軍事、航天航空、生物工程、計(jì)算機(jī)芯片和電子信息工程等高新領(lǐng)域有個(gè)廣闊的應(yīng)用前景。

與直流、高頻、熱絲發(fā)射法比較，微波等離子體化學(xué)氣相沉積法（MPCVD）被認(rèn)為是當(dāng)今國際上制備高質(zhì)量金剛石膜的首選、最先進(jìn)方法；而上述方法需要用到專用的微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。上述系統(tǒng)的核心部件之一為真空諧振腔，而真空諧振腔是由腔蓋扣在真空腔基座上并密封，然后抽真空形成的。對于較小功率的沉積設(shè)備，其腔蓋相對較小，通過人工打開和扣合比較容易；而對于較大功率的沉積設(shè)備，由于其腔蓋尺寸較大，重量比較重，其打開和扣合比較困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，其能夠腔蓋的打開和扣合采用升降裝置進(jìn)行操作，從而使得其操縱簡單方便。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種等離子體設(shè)備主機(jī)，包括：

機(jī)架；

真空腔基座，所述真空腔基座與所述機(jī)架連接，所述真空腔基座的中部設(shè)置有樣品基片臺(tái)；

腔蓋，所述腔蓋能夠與所述真空腔基座進(jìn)行密封配合；

升降裝置，所述升降裝置的底部與所述機(jī)架連接，上部與所述腔蓋連接，所述升降裝置能夠帶動(dòng)所述腔蓋上下移動(dòng)。

進(jìn)一步，所述升降裝置包括升降機(jī)構(gòu)及懸掛組件，所述懸掛組件與所述升降機(jī)構(gòu)連接，所述升降機(jī)構(gòu)與所述機(jī)架連接；

所述懸掛組件為弧形結(jié)構(gòu)，包括懸臂及三個(gè)連接件，所述三個(gè)連接件沿所述懸臂的弧形方向間隔排布，所述懸臂通過所述三個(gè)連接件與所述腔蓋連接。

進(jìn)一步，所述懸臂包括底板、立板和蓋板，所述底板通過所述立板與所述蓋板連接；

所述底板上設(shè)置有三個(gè)安裝孔，所述三個(gè)連接件分別安裝在所述三個(gè)安裝孔中，并能夠沿所述安裝孔自由移動(dòng)；所述連接件的上端設(shè)置有限位端頭，所述限位端頭能夠防止所述連接件從所述安裝孔中脫落。

進(jìn)一步，所述連接件采用了萬向節(jié)結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述升降裝置還包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述懸掛組件及所述升降機(jī)構(gòu)連接，用于驅(qū)動(dòng)所述懸掛組件繞豎直軸轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步，還包括模式轉(zhuǎn)換器，所述模式轉(zhuǎn)換器包括矩形波導(dǎo)、圓形波導(dǎo)、門鈕、內(nèi)導(dǎo)體；

所述真空腔基座的中部設(shè)置有安裝通孔，所述矩形波導(dǎo)的上蓋板上設(shè)置有上部通孔，所述圓形波導(dǎo)的上端連接于所述安裝通孔處，下端連接于所述上部通孔處；所述內(nèi)導(dǎo)體的上端穿過所述安裝通孔，下端與所述門鈕連接；

所述門鈕為與所述內(nèi)導(dǎo)體同軸的曲面回轉(zhuǎn)體，所述門鈕通過下端面邊緣的圓周刃邊與所述矩形波導(dǎo)下蓋板的內(nèi)表面配合；

所述樣品基片臺(tái)的底部設(shè)置有中部通孔；所述內(nèi)導(dǎo)體的上端延伸至所述中部通孔處。

進(jìn)一步，所述中部通孔處設(shè)置有爪型軸套；