[發明專利]一種微波等離子體化學氣相沉積系統

有效

• 申請號: 202011638435.0
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112853327B
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 季宇;劉文科;季天仁
• 申請（專利權）人: 成都紐曼和瑞微波技術有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/27;C23C16/54;C23C16/52
• 代理公司: 北京卓恒知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 孔鵬

1.一種微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，包括微波源、微波傳輸裝置及等離子體設備主機，所述微波源通過所述微波傳輸裝置與所述等離子體設備主機連接；

所述等離子體設備主機包括：

機架；

真空腔基座，所述真空腔基座與所述機架連接，所述真空腔基座的中部設置有樣品基片臺；

腔蓋，所述腔蓋能夠與所述真空腔基座進行密封配合；

升降裝置，所述升降裝置的底部與所述機架連接，上部與所述腔蓋連接，所述升降裝置能夠帶動所述腔蓋上下移動；

所述升降裝置包括升降機構及懸掛組件，所述懸掛組件與所述升降機構連接，所述升降機構與所述機架連接；

所述懸掛組件為弧形結構，包括懸臂及三個連接件，所述三個連接件沿所述懸臂的弧形方向間隔排布，所述懸臂通過所述三個連接件與所述腔蓋連接。

2.根據權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述懸臂包括底板、立板和蓋板，所述底板通過所述立板與所述蓋板連接；

所述底板上設置有三個安裝孔，所述三個連接件分別安裝在所述三個安裝孔中，并能夠沿所述安裝孔自由移動；所述連接件的上端設置有限位端頭，所述限位端頭能夠防止所述連接件從所述安裝孔中脫落。

3.根據權利要求2所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述連接件采用了萬向節結構。

4.根據權利要求2所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述升降裝置還包括旋轉機構，所述旋轉機構與所述懸掛組件及所述升降機構連接，用于驅動所述懸掛組件繞豎直軸轉動。

5.根據權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，還包括模式轉換器，所述模式轉換器包括矩形波導、圓形波導、門鈕、內導體；

所述真空腔基座的中部設置有安裝通孔，所述矩形波導的上蓋板上設置有上部通孔，所述圓形波導的上端連接于所述安裝通孔處，下端連接于所述上部通孔處；所述內導體的上端穿過所述安裝通孔，下端與所述門鈕連接；

所述門鈕為與所述內導體同軸的曲面回轉體，所述門鈕通過下端面邊緣的圓周刃邊與所述矩形波導下蓋板的內表面配合；

所述樣品基片臺的底部設置有中部通孔；所述內導體的上端延伸至所述中部通孔處。

6.根據權利要求5所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述中部通孔處設置有爪型軸套；

所述爪型軸套包括朝下延伸的錐形套管，所述錐形套管上設置有多個開槽，所述多個開槽沿所述爪型軸套的軸向延伸；

所述錐形套管套設在所述內導體上。

7.根據權利要求5所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述門鈕的下端面設置有圓柱狀凸臺，所述矩形波導下蓋板的內表面上設置有凹部，所述凸臺嵌設在所述凹部中；

所述凸臺的圓周面與所述門鈕下端面呈銳角設置，從而使得所述門鈕下端面邊緣形成所述刃邊。

8.根據權利要求7所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述矩形波導的下蓋板與所述凸臺通過螺釘連接。

9.根據權利要求5所述的微波等離子體化學氣相沉積系統，其特征在于，所述等離子體設備主機還包括中部連接管，所述內導體及所述門鈕均設置有軸向通孔；所述矩形波導的下蓋板上設置有下部通孔，所述門鈕安裝在所述下部通孔處；

所述中部連接管的一端連接有法蘭板，并穿設于所述軸向通孔中；

所述樣品基片臺設置有中空內腔，所述法蘭板設置在所述中空內腔中；

所述中部連接管的下部設置有拉緊裝置，所述拉緊裝置與所述矩形波導抵接，所述拉緊裝置能夠給所述中部連接管、所述法蘭板施加拉力，從而使得所述樣品基片臺與所述真空腔基座的上表面緊密配合。