[發明專利]一種衰減器加工方法在審
| 申請號: | 202011638107.0 | 申請日: | 2020-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN112853311A | 公開(公告)日: | 2021-05-28 |
| 發明(設計)人: | 張志強;耿復;高志強;馬天軍;張欣玲;王書峰;褚立人 | 申請(專利權)人: | 山東微波電真空技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/44 |
| 代理公司: | 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業) 37232 | 代理人: | 左建華 |
| 地址: | 250000 山東省濟南市歷城區王*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 衰減器 加工 方法 | ||
本發明涉及行波管領域,特別涉及一種衰減器加工方法,提供具有真空腔的模具;確定所述夾持桿的衰減器設置區域,將夾持桿置于所述模具;對所述真空腔抽負壓,所述真空腔的壓力大于或等于5×10?5Pa;向所述真空腔通入C7H16;所述模具加熱至N℃,750≤N≤850;冷卻所述夾持桿。本發明的加工方法,可以使得夾持桿一體的形成衰減器,易于對衰減器進行組裝和加工。而且,衰減器設置區域處吸附的碳層均勻,具有較好的衰減效果,有效的解決了現有技術中存在的問題。
技術領域
本發明涉及行波管領域,特別涉及一種衰減器加工方法。
背景技術
行波管是一種將輸入的微波信號進行放大的電真空器件,具有寬帶大功率和高增益的特點,廣泛的應用于雷達、微波遙感等領域。
由于行波管的輸入輸出端的反射難以完全消除,很容易形成反饋回路而產生自激振蕩,破壞行波管的正常工作。為了提高行波管的工作穩定性,抑制自激振蕩,必須在管內加入衰減器,以切斷輸入、輸出反饋途徑,使其吸收掉進入衰減器的微波功率和減小不匹配造成的反射波,使得正常的輸入信號得到放大。
目前已知的用于以一段波導作為終端的慢波結構的衰減器有兩種,一種為楔形結構吸收體,該楔形結構在高度方向上采用楔形漸變過渡以減輕吸收體對電磁波的擾動,減小反射。另一種為開槽式楔形結構吸收體,該結構在楔形結構吸收體的基礎上,采用表面開槽的方式來改善匹配。目前,此兩種形式的衰減器依賴于手工加工的形式,加工難度較大,加工精度不易控制。因此,急需對衰減器的加工方法進行改進。
發明內容
為了解決上述技術問題,本發明提供了一種衰減器加工方法,由此可以使得夾持桿一體的形成衰減器,易于對衰減器進行組裝和加工。而且,衰減器設置區域處吸附的碳層均勻,具有較好的衰減效果,有效的解決了現有技術中存在的問題。
為了解決上述問題,本發明提供一種衰減器加工方法,包括:提供具有真空腔的模具;確定所述夾持桿的衰減器設置區域,將夾持桿置于所述模具;對所述真空腔抽負壓,所述真空腔的壓力大于或等于5×10-5Pa;向所述真空腔通入C7H16;所述模具加熱至N℃,750≤N≤850;冷卻所述夾持桿。
進一步的,所述N為800。
進一步的,所述方法還包括:所述夾持桿在所述衰減器設置區域以外的部分覆蓋有隔絕件。
進一步的,所述方法還包括,冷卻所述夾持桿后,取下隔絕件。
進一步的,所述隔絕件為氧化鋁纖維膜。
進一步的,所述隔絕件為套設在所述夾持桿的套管。
進一步的,所述模具的真空腔內設有移動遮擋件,所述移動遮擋件遮擋所述衰減器設置區域,并沿所述夾持桿的軸向滑動,所述模具還包括帶動所述遮擋件移動的牽引件,所述方法還包括:在所述模具加熱至N℃以后,通過所述牽引件移動所述遮擋件。
進一步的,所述模具開設有通孔,所述牽引件包括由所述通孔伸入的連接件,所述連接件與所述遮擋件相連,所述牽引件還包括柔性封閉件,所述柔性封閉件呈筒狀,所述柔性封閉件的一端與所述通孔的邊緣相連,另一端與所述牽引件相連。
進一步的,牽引件還包括絲杠組件,所述連接件為與所述絲杠組件的螺母相連的連接桿。
本發明的有益效果在于,本發明提供了一種衰減器加工方法由此可以使得夾持桿一體的形成衰減器,易于對衰減器進行組裝和加工。而且,衰減器設置區域處吸附的碳層均勻,具有較好的衰減效果,有效的解決了現有技術中存在的問題。
附圖說明
此處所說明的附圖用來提供對本發明的進一步理解,構成本發明的一部分,本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明,并不構成對本發明的不當限定。在附圖中:
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





