[發明專利]一種衰減器加工方法在審
| 申請號: | 202011638107.0 | 申請日: | 2020-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN112853311A | 公開(公告)日: | 2021-05-28 |
| 發明(設計)人: | 張志強;耿復;高志強;馬天軍;張欣玲;王書峰;褚立人 | 申請(專利權)人: | 山東微波電真空技術有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/04;C23C16/44 |
| 代理公司: | 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業) 37232 | 代理人: | 左建華 |
| 地址: | 250000 山東省濟南市歷城區王*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 衰減器 加工 方法 | ||
1.一種衰減器加工方法,其特征在于,包括:
提供具有真空腔的模具;
確定所述夾持桿的衰減器設置區域,將夾持桿置于所述模具;
對所述真空腔抽負壓,所述真空腔的壓力大于或等于5×10-5Pa;
向所述真空腔通入C7H16;
所述模具加熱至N℃,750≤N≤850;
冷卻所述夾持桿。
2.根據權利要求1所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述N為800。
3.根據權利要求1所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述方法還包括:所述夾持桿在所述衰減器設置區域以外的部分覆蓋有隔絕件。
4.根據權利要求3所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述方法還包括,冷卻所述夾持桿后,取下隔絕件。
5.根據權利要求3所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述隔絕件為氧化鋁纖維膜。
6.根據權利要求3所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述隔絕件為套設在所述夾持桿的套管。
7.根據權利要求1所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述模具的真空腔內設有移動遮擋件,所述移動遮擋件遮擋所述衰減器設置區域,并沿所述夾持桿的軸向滑動,所述模具還包括帶動所述遮擋件移動的牽引件,所述方法還包括:
在所述模具加熱至N℃以后,通過所述牽引件移動所述遮擋件。
8.根據權利要求7所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,所述模具開設有通孔,所述牽引件包括由所述通孔伸入的連接件,所述連接件與所述遮擋件相連,所述牽引件還包括柔性封閉件,所述柔性封閉件呈筒狀,所述柔性封閉件的一端與所述通孔的邊緣相連,另一端與所述牽引件相連。
9.根據權利要求8所述的一種衰減器加工方法,其特征在于,牽引件還包括絲杠組件,所述連接件為與所述絲杠組件的螺母相連的連接桿。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





