[發明專利]一種鉬鈉合金板狀靶材的制備方法

有效

• 申請號: 202011637456.0
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112813397B
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發明（設計）人: 王娜;朱琦;席莎;安耿;武洲;吳吉娜;張曉;周莎;張俊利
• 申請（專利權）人: 金堆城鉬業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C22C27/04;C22C1/04;B22F3/105;B22F3/04
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 王敏強

1.一種鉬鈉合金板狀靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、先將鉬酸鈉和粘結劑用去離子水溶解混合均勻后，再加入鉬粉，并經噴霧造粒后得到鉬鈉合金粉末，最后對鉬鈉合金粉末進行脫碳處理，所述鉬鈉合金粉末中鉬酸鈉的質量含量為4.21％-42.09％，余量為鉬粉；

步驟2、對步驟1得到的所述鉬鈉合金粉末進行低壓預壓制，得到初始壓坯；

步驟3、將所述初始壓坯置于石墨模具中，然后將所述石墨模具置于SPS燒結爐中加壓，并進行抽真空；最后對所述SPS燒結爐進行增加電流升溫燒結、卸壓、冷卻，得到鉬鈉合金坯料；

步驟4、將所述鉬鈉合金坯料進行機加工、打磨拋光得到鉬鈉合金板狀靶材成品；

步驟2中所述低壓預壓制采用冷等靜壓法，具體參數為：壓力100MPa-150MPa，保壓時間5min-10min；

步驟3中所述對所述SPS燒結爐進行增加電流升溫燒結、卸壓、冷卻過程具體為：

對所述SPS燒結爐先以30℃-100℃/min的升溫速率從室溫升至300℃，再以100℃-200℃/min的升溫速率升至600℃，最后以30℃-100℃/min的升溫速率升至1000℃-1200℃，然后保溫5min-20min；保溫結束后，先以50℃-200℃/min的降溫速率降至800℃，再以50℃-200℃/min的降溫速率降至600℃，然后緩慢卸壓，隨爐冷卻。

2.根據權利要求1所述的一種鉬鈉合金板狀靶材的制備方法，其特征在于，步驟4中所述鉬鈉合金板狀靶材成品由以下質量組分組成：Na元素0.8％-8.0％，余量為Mo元素，以上組分的質量分數百分比為100％。

3.根據權利要求1所述的一種鉬鈉合金板狀靶材的制備方法，其特征在于，所述鉬粉質量純度大于等于99.95％，所述鉬粉的費氏粒度為3.0μm-4.0μm，所述鉬酸鈉質量純度大于等于99.0％。