[發明專利]鏡頭畸變補償方法、存儲介質以及直寫式光刻機

有效

• 申請號: 202011635539.6
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112748644B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 趙美云
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京景聞知識產權代理有限公司 11742
• 代理人: 朱鴻雁

1.一種鏡頭畸變補償方法，用于直寫式光刻機，其特征在于，包括：

獲取光刻版圖的版圖數據；

根據預設曝光步進寬度將所述版圖數據劃分為多個曝光數據組；

根據畸變趨勢方程對每個所述曝光數據組進行補償以獲得補償后的曝光數據，所述畸變趨勢方程為所述曝光數據組中數據點的相對位置與所述直寫式光刻機鏡頭的畸變誤差的關系方程；

根據所述補償后的曝光數據進行曝光處理。

2.根據權利要求1所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，根據畸變趨勢方程對每個所述曝光數據組進行補償，包括：

對于每個所述曝光數據組，確定所述曝光數據組的中心數據點；

獲得所述曝光數據組中每個數據點與所述中心數據點的相對距離，以作為對應數據點的相對位置；

將每個數據點與所述中心數據點的相對距離代入所述畸變趨勢方程以獲得每個數據點的畸變誤差；

將所述畸變誤差補償給所述曝光數據組中對應的曝光數據。

3.根據權利要求1或2所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，所述畸變趨勢方程通過以下步驟獲得并保存：

獲得標準版圖的理論間距值，其中，所述標準版圖包括M*N的標記點陣列，所述理論間距值為所述標記點陣列中相鄰列標記點之間的第一間距值，M為大于0的自然數，N為大于1的自然數，0理論間距值條帶曝光寬度；

對所述標記點陣列進行曝光處理，獲得曝光處理后的標記點陣列；

獲得曝光處理后的標記點陣列中相鄰列標記點之間的第二間距值；

獲得間距差值陣列，其中，所述間距差值陣列包括i*j的間距差值，所述間距差值為第二間距值與對應的第一間距值的差值，0iM,0jN；

獲得所述間距差值陣列中的K*j間距差值陣列，根據所述K*j間距差值陣列獲得所述直寫式光刻機鏡頭在步進方向上的畸變平均值，其中，0K≤i；

確定所述畸變平均值中的標準平均值，并獲得每個所述畸變平均值與所述標準平均值的相對誤差值；

確定所述相對誤差值中的標準誤差值，并根據所述相對誤差值和所述標準誤差值獲得累積誤差值，其中，所述標準平均值和所述標準誤差值對應所述間距差值陣列中相同的間距差值點；

以所述標準平均值或所述標準誤差值對應的間距差值點為原點，根據所述累積誤差值獲得畸變曲線；

根據所述畸變曲線獲得所述畸變趨勢方程。

4.根據權利要求3所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，根據所述K*j間距差值陣列獲得所述直寫式光刻機鏡頭在步進方向上的畸變平均值，包括：

獲得所述K*j間距差值陣列中每列間距差值的平均值，以作為對應列的畸變平均值。

5.根據權利要求4所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，確定所述畸變平均值中的標準平均值，包括：

確定所述K*j間距差值陣列中相對中間列對應的畸變平均值為所述標準平均值。

6.根據權利要求3所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，所述標記點陣列中的標記點為十字形標記或者方形標記或者圓形標記。

7.根據權利要求1所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，所述曝光數據組中的曝光數據為矢量數據，在對所述曝光數據組進行補償，按照所述預設曝光步進寬度以物理單元進行補償。

8.根據權利要求7所述的鏡頭畸變補償方法，其特征在于，所述曝光數據組中的曝光數據為灰度數據，在對所述曝光數據組進行補償，按照所述預設曝光步進寬度以像素單位進行補償。

9.一種計算機存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被執行時實現權利要求1-8任一項所述的鏡頭畸變補償方法。

10.一種直寫式光刻機，其特征在于，包括：

運動平臺，用于放置基底；

曝光光源，用于在曝光時對光刻版圖進行照射；

數字微鏡陣列，用于顯示所述光刻版圖并將照射所述光刻版圖的光線進行反射；

物鏡，用于將反射的光刻版圖的光投影在所述基底上；

處理器，與所述運動平臺和所述數字微鏡陣列連接，用于執行權利要求1-8任一項所述的鏡頭畸變補償方法。