[發(fā)明專利]一種自動(dòng)化激光直寫裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011628694.5
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN112631084A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐海東;俞慶平;陳宏;鄭國(guó)亮;趙強(qiáng);陸宗健;李文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽地勢(shì)坤光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;B65G49/06
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 高微微

本發(fā)明公開了一種自動(dòng)化激光直寫裝置，涉及激光直寫技術(shù)領(lǐng)域，包括進(jìn)板輸送機(jī)構(gòu)、用于對(duì)平面基板進(jìn)行氣浮傳送的氣浮送板機(jī)構(gòu)、用于對(duì)平面基板進(jìn)行曝光的曝光機(jī)構(gòu)和用于對(duì)已曝光的平面基板進(jìn)行輸出的出板輸送機(jī)構(gòu)；輸送機(jī)構(gòu)的輸出端與氣浮送板機(jī)構(gòu)的輸入端連接，氣浮送板機(jī)構(gòu)的輸出端與曝光機(jī)構(gòu)的曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)的輸入端連接，曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)的輸出端與出板輸送機(jī)構(gòu)的輸入端連接，平面基板依次經(jīng)過進(jìn)板輸送機(jī)構(gòu)、氣浮送板機(jī)構(gòu)進(jìn)入曝光機(jī)構(gòu)的曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)，曝光后經(jīng)出板輸送機(jī)構(gòu)輸出；本激光直寫設(shè)備對(duì)平面基板進(jìn)行氣浮輸送，在基本不損傷平面基板的情況下，實(shí)現(xiàn)了平面基板的全自動(dòng)上下板。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光直寫技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)化激光直寫裝置。

背景技術(shù)

光刻技術(shù)是用于在基板表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基板可用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等。

激光直寫技術(shù)是利用強(qiáng)度可變的激光束對(duì)基片表面的抗蝕材料實(shí)施變劑量曝光，顯影后便在抗蝕層表面形成要求的浮雕輪廓。以其工藝流程簡(jiǎn)單、生產(chǎn)效率高、制造成本低等特點(diǎn)，很快取代了傳統(tǒng)的掩膜板式的光刻技術(shù)，成為在平面基板、半導(dǎo)體等生產(chǎn)領(lǐng)域最重要和最普遍的技術(shù)。其中平面基板的輸送是激光直寫設(shè)備中重要的工序。

但是現(xiàn)有技術(shù)的激光直寫設(shè)備多數(shù)存在以下問題：平面基板在向曝光機(jī)構(gòu)輸送以進(jìn)行曝光的過程中往往由于滾動(dòng)、滑動(dòng)等摩擦，造成平面基板表面出現(xiàn)損傷，從而影響了平面基板后續(xù)曝光后的質(zhì)量，造成平面基板成品的合格率較低，從而增加了企業(yè)的經(jīng)營(yíng)成本。

發(fā)明內(nèi)容

基于背景技術(shù)存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提出了一種自動(dòng)化激光直寫裝置，流水線的平面基板能依次實(shí)現(xiàn)居中對(duì)正和曝光的獨(dú)立進(jìn)行，極大程度的提高了平面基板的生產(chǎn)效率。

本發(fā)明提出的一種自動(dòng)化激光直寫裝置，包括進(jìn)板輸送機(jī)構(gòu)、用于對(duì)平面基板進(jìn)行氣浮傳送的氣浮送板機(jī)構(gòu)、用于對(duì)平面基板進(jìn)行曝光的曝光機(jī)構(gòu)和用于對(duì)已曝光的平面基板進(jìn)行輸出的出板輸送機(jī)構(gòu)；輸送機(jī)構(gòu)的輸出端與氣浮送板機(jī)構(gòu)的輸入端連接，氣浮送板機(jī)構(gòu)的輸出端與曝光機(jī)構(gòu)的曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)的輸入端連接，曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)的輸出端與出板輸送機(jī)構(gòu)的輸入端連接，平面基板依次經(jīng)過進(jìn)板輸送機(jī)構(gòu)、氣浮送板機(jī)構(gòu)進(jìn)入曝光機(jī)構(gòu)的曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)，曝光后經(jīng)出板輸送機(jī)構(gòu)輸出。

進(jìn)一步地，平面基板的運(yùn)動(dòng)輸送方向與曝光機(jī)構(gòu)上激光成像組件的運(yùn)動(dòng)方向垂直。

進(jìn)一步地，所述氣浮送板機(jī)構(gòu)包括用于對(duì)平面基板進(jìn)行氣浮的曝光前氣浮平臺(tái)和用于將曝光前氣浮平臺(tái)上的平面基板夾持輸送到曝光臺(tái)面機(jī)構(gòu)上的夾持機(jī)構(gòu)，夾持機(jī)構(gòu)和曝光前氣浮平臺(tái)均固定于整體機(jī)架上。

進(jìn)一步地，所述夾持機(jī)構(gòu)包括框體骨架、夾持組件和用于驅(qū)動(dòng)夾持組件對(duì)平面基板進(jìn)行夾持輸送的電機(jī)組件，夾持組件可滑動(dòng)設(shè)置于框體骨架上，電機(jī)組件固定設(shè)置于框體骨架上，框體骨架可滑動(dòng)設(shè)置于整體機(jī)架上；所述框體骨架設(shè)置于曝光前氣浮平臺(tái)的上方、并可滑動(dòng)固定于整體機(jī)架上。

進(jìn)一步地，所述夾持組件包括橫向夾持塊和縱向夾持塊，至少兩個(gè)橫向夾持塊在框體骨架上相對(duì)設(shè)置，至少兩個(gè)縱向夾持塊在框體骨架上相對(duì)設(shè)置，橫向夾持塊和縱向夾持塊形成的空間用于夾持平面基板；所述夾持組件還包括用于固定橫向夾持塊的橫向滑動(dòng)塊和用于固定縱向夾持塊的縱向滑動(dòng)塊，橫向滑動(dòng)塊和縱向滑動(dòng)塊均與框體骨架滑動(dòng)連接，橫向滑動(dòng)塊上固定設(shè)置有第一升降氣缸，縱向滑動(dòng)塊上固定設(shè)置有第二升降氣缸，第一升降氣缸的升降端與橫向夾持塊固定連接，第二升降氣缸的升降端與縱向夾持塊固定連接。

進(jìn)一步地，所述電機(jī)組件包括橫向電機(jī)和縱向電機(jī)，所述在框體骨架同側(cè)面的橫向夾持塊固定于框體骨架上，在框體骨架同側(cè)面的橫向夾持塊通過橫向電機(jī)驅(qū)動(dòng)橫向運(yùn)動(dòng)，在框體骨架同側(cè)面的縱向夾持塊通過其中一縱向電機(jī)驅(qū)動(dòng)縱向運(yùn)動(dòng)，在框體骨架另一同側(cè)面的縱向夾持塊通過另一縱向電機(jī)驅(qū)動(dòng)縱向運(yùn)動(dòng)。