[發明專利]一種自動化激光直寫裝置

在審

• 申請號: 202011628694.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112631084A
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 徐海東;俞慶平;陳宏;鄭國亮;趙強;陸宗健;李文
• 申請（專利權）人: 安徽地勢坤光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B65G49/06
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 高微微

1.一種自動化激光直寫裝置，其特征在于，包括進板輸送機構(4)、用于對平面基板進行氣浮傳送的氣浮送板機構(8)、用于對平面基板進行曝光的曝光機構(2)和用于對已曝光的平面基板進行輸出的出板輸送機構(6)；

進板輸送機構(4)的輸出端與氣浮送板機構(8)的輸入端連接，氣浮送板機構(5)的輸出端與曝光機構(2)的曝光臺面機構(24)的輸入端連接，曝光臺面機構(24)的輸出端與出板輸送機構(6)的輸入端連接，平面基板依次經過進板輸送機構(4)、氣浮送板機構(8)進入曝光機構(2)的曝光臺面機構(24)，曝光后經出板輸送機構(6)輸出。

2.根據權利要求1所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，平面基板的運動輸送方向與曝光機構(2)上激光成像組件(21)的運動方向垂直。

3.根據權利要求1所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，所述氣浮送板機構(8)包括用于對平面基板進行氣浮的曝光前氣浮平臺(7)和用于將曝光前氣浮平臺(7)上的平面基板夾持輸送到曝光臺面機構(24)上的夾持機構(5)，夾持機構(5)和曝光前氣浮平臺(7)均固定于整體機架(1)上。

4.根據權利要求3所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，所述夾持機構(5)包括框體骨架(51)、夾持組件(52)和用于驅動夾持組件(52)對平面基板進行夾持輸送的電機組件(53)，夾持組件(52)可滑動設置于框體骨架(51)上，電機組件(53)固定設置于框體骨架(51)上，框體骨架(51)設置于曝光前氣浮平臺(7)的上方、并可滑動固定于整體機架(1)上。

5.根據權利要求4所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，所述夾持組件(52)包括橫向夾持塊(521)和縱向夾持塊(522)，至少兩個橫向夾持塊(521)在框體骨架(51)上相對設置，至少兩個縱向夾持塊(522)在框體骨架(51)上相對設置，橫向夾持塊(521)和縱向夾持塊(522)形成的空間用于夾持平面基板；

所述夾持組件(52)還包括用于固定橫向夾持塊(521)的橫向滑動塊(523)和用于固定縱向夾持塊(522)的縱向滑動塊(524)，橫向滑動塊(523)和縱向滑動塊(524)均與框體骨架(51)滑動連接，橫向滑動塊(523)上固定設置有第一升降氣缸(525)，縱向滑動塊(524)上固定設置有第二升降氣缸(526)，第一升降氣缸(525)的升降端與橫向夾持塊(521)固定連接，第二升降氣缸(526)的升降端與縱向夾持塊(522)固定連接。

6.根據權利要求5所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，所述電機組件(53)包括橫向電機(531)和縱向電機(532)，所述在框體骨架(51)同側面的橫向夾持塊(521)固定于框體骨架(51)上，在框體骨架(51)同側面的橫向夾持塊(521)通過橫向電機(531)驅動橫向運動，在框體骨架(51)同側面的縱向夾持塊(522)通過其中一縱向電機(532)驅動縱向運動，在框體骨架(51)另一同側面的縱向夾持塊(522)通過另一縱向電機(532)驅動縱向運動。

7.根據權利要求4所述的自動化激光直寫裝置，其特征在于，所述夾持機構(5)還包括用于輸送框體骨架(51)向曝光機構(2)的曝光臺面機構(24)運動的橫向驅動機構(54)，所述橫向驅動機構(54)包括驅動電機(541)、轉動軸(542)和設置于整體機架(1)上的第一板(543)，驅動電機(541)的輸出端通過聯軸器(544)與轉動軸(542)連接，轉動軸(542)通過軸承座(545)固定設置于第一板(543)上，轉動軸(542)的兩端部均設置有齒輪(546)，框體骨架(51)的相對兩側分別設置有齒條(547)，齒輪(546)與齒條(547)嚙合傳動；

所述橫向驅動機構(54)還包括鏈條(548)和支撐板(549)，兩支撐板(549)固定設置于第一板(543)的兩端上，鏈條(548)的一端與支撐板(549)固定連接、另一端與框體骨架(51)固定連接。