[發明專利]用于調節處理腔中電漿曲線的裝置及其控制方法

在審

• 申請號: 202011627023.7
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112736015A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 張賽謙;李健
• 申請（專利權）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01J37/32
• 代理公司: 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229
• 代理人: 李丹

1.一種用于調節電漿曲線的裝置，包含：一金屬調節環，其特征在于：

所述金屬調節環具有一內側面、一斜面及一頂面，所述斜面自所述頂面向所述內側面向下延伸，所述斜面與所述頂面定義一夾角，所述夾角介于150度至120度之間。

2.一種用于調節電漿曲線的裝置，其特征在于，包含：

一支撐盤，具有一承載區域及圍繞所述承載區的一周圍區；及

一金屬調節環，埋設于且延伸于所述支撐盤的周圍區，所述金屬調節環具有面向所述承載區的一內側面、一斜面及一頂面，所述斜面自所述頂面向所述內側面向下延伸，所述斜面與所述頂面定義一夾角，所述夾角介于150度至120度之間。

3.按照權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述支撐盤的周圍區具有一陶瓷環，所述陶瓷環將所述金屬調節環包覆于所述支撐盤的周圍區中。

4.按照權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述支撐盤的周圍區的至少一部分高于所述承載區。

5.按照權利要求2所述的裝置，其特征在于：所述支撐盤具有一連接器組件，所述連接器組件提供一導線與所述金屬調節環電性連接，使所述金屬調節環經由所述導線接收一直流電壓。

6.按照權利要求5所述的裝置，其特征在于：所述連接器組件包含：

一接線套，至少部分嵌入所述支撐盤并包覆所述導線；

一固定帽，將接線套固持于所述支撐盤中；及

一保護罩，至少部分延伸于所述支撐盤外并包覆所述接線套的至少一部分。

7.一種方法，用于控制如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述方法包含：

以一馬達于一處理腔中升降所述支撐盤；及

以一運動組件升降所述導線，使所述導線與所述支撐盤同步升降，

其中，所述運動組件與所述馬達機械連接，使所述馬達與所述運動組件同步連動。

8.按照權利要求7所述的方法，其特征在于，所述運動組件包含：

一轉接頭，耦接于所述導線的一末端；

一密封部，與所述轉接頭連接且密封所述導線的末端；

一波紋管，連接于所述密封部且包覆所述轉接頭；及

一運動支座，連接所述密封部且與控制所述支撐盤的馬達耦接。