[發明專利]晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法、制程控制系統

在審

• 申請號: 202011619843.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112818180A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 肖桃文;譚少華;陳美蓉;吳玲妹
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: G06F16/901
• 分類號: G06F16/901;G06F16/903;H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本發明提供一種晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法、制程控制系統，包括設備自動化系統將生產執行系統提供的制造工藝數據與產品制造設備傳遞工藝數據和設備數據進行整合成生產數據，并對每一批次的產品對應的生產數據生成唯一的標識符，且將所述標識符及所述標識符對應的生產數據存儲至一中間系統，將所述標識符上傳至設定的制造系統。本發明在記錄生產數據時，通過將每一批次的產品對應的生產數據生成唯一的標識符，存儲所述標識符及所述標識符對應的生產數據至一中間系統后還將標識符上傳至設定的制造系統，即通過標識符將所有制造系統的數據串聯，以通過所述標識符在各制造系統中快速準確的查詢到晶圓加工的歷史數據，提高查詢效率。

技術領域

本發明涉及集成電路制造技術領域，尤其涉及一種晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法、制程控制系統。

背景技術

在集成電路的生產制造中，每一個晶圓從原料最終形成產品都需要經過成百乃至上千道工序，晶圓所經過的所有工序組成了工藝流程。在正常情況下，晶片按照預先設定好的工藝流程一步一步地執行每一道工序，也就是說，預先設定好了工藝流程中每一道工序的內容，每一道工序的內容還包括具體的工藝參數，還預先設定好了每一道工序執行的時間順序，工藝流程驅動引擎根據預先設定好的工藝流程，控制晶片依次執行每一道工序

隨著半導體技術的發展，半導體企業都會利用軟件控制系統來達到使半導體生產生產能力最大化的目的。現有的高度自動化生產線，一般采用計算機集成制造系統(Computer Integrated Manufacture),即CIM系統。CIM系統包括但不限于：生產執行系統(Manufacturing Execution System，MES)、設備自動化系統(Equipment AutomationProgram，EAP)和自動控制系統(Run to Run system，R2R)，故障檢測分類系統(FaultDetection and Classification system，FDC)，配方管理系統(Recipe ManagementSystem，RMS)。在芯片的制造過程中，MES會將制造所需要的信息傳遞至EAP等系統，在生產時，RMS系統會管理配方信息，FDC會收集機臺的信息，R2R會調整工藝參數信息，每個系統都會有各自的工作和所需要記錄的信息。由于不同的系統往往是不同公司的產品，所以會出現每個系統存儲的數據具有不同的類型和結構，

針對于不同系統間存儲的數據具有不同的類型和結構，在查詢產品的制造過程記錄時，我們無法快速的將所有系統存儲的數據串聯在一起，以得到我們所需要查詢的歷史記錄。為此，我們需要花費較長的時間在不同系統上查詢有效數據，再將其關聯，這種狀況大大增加了數據的查詢量，嚴重影響了工作效率。且對于返工的產品，需要查詢該產品每次的工藝參數時，根據現有系統記錄的數據，要經過非常復雜的搜索才能得到結果，甚至可能會查詢到錯誤的信息。

發明內容

本發明的目的在于提供一種晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，記錄生產數據時通過唯一的標識符將不同制造系統間的數據串聯，以便于快速準確地查詢晶圓加工歷史數。

本發明提供一種晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，包括：

生產執行系統提供產品的制造工藝數據至設備自動化系統，產品制造設備傳遞工藝數據和設備數據至設備自動化方案系統；

所述設備自動化系統將收集的所述制造工藝數據、所述工藝數據及所述設備數據整合成生產數據并對每一批次的產品對應的所述生產數據生成唯一的標識符，且將所述標識符及所述標識符對應的生產數據存儲至一中間系統；

所述設備自動化系統將所述標識符上傳至設定的制造系統。

可選的，所述標識符包括元素項目和序列號。

可選的，所述元素項目包括產品批次、晶圓批次、產品種類或設備編號。

可選的，所述序列號隨著所述生產數據的存儲的先后順序在一定范圍內依次遞增。