[發明專利]晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法、制程控制系統

在審

• 申請號: 202011619843.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112818180A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 肖桃文;譚少華;陳美蓉;吳玲妹
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: G06F16/901
• 分類號: G06F16/901;G06F16/903;H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，其特征在于，包括：

生產執行系統提供產品的制造工藝數據至設備自動化系統，產品制造設備傳遞工藝數據和設備數據至設備自動化系統；

所述設備自動化系統將收集的所述制造工藝數據、所述工藝數據及所述設備數據整合成生產數據并對每一批次的產品對應的所述生產數據生成唯一的標識符，且將所述標識符及所述標識符對應的生產數據存儲至一中間系統；以及

所述設備自動化系統將所述標識符上傳至設定的制造系統。

2.根據權利要求1所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述標識符包括元素項目和序列號。

3.根據權利要求2所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述元素項目包括產品批次、晶圓批次、產品種類或設備編號。

4.根據權利要求2或3所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述序列號隨著所述生產數據的存儲的先后順序在一定范圍內依次遞增。

5.根據權利要求1所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述工藝數據包括生產每一批次的產品時各項控制項目所設定的工藝參數。

6.根據權利要求1所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述設備數據包括運行每一批次的產品的設備型號、設備運行狀態和運行時間。

7.根據權利要求1所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述設備自動化系統通過產品批次號將所述制造工藝數據、所述工藝數據及所述設備數據一一對應整合成所述生產數據。

8.根據權利要求2所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，其特征在于，所述設定的制造系統包括自動控制系統配方管理系統、故障檢測分類系統及自動控制系統。

9.根據權利要求8所述的晶圓加工歷史數據的存儲和查詢方法，所述設定的制造系統中存儲的數據與所述標識符中的至少一種元素項目對應。

10.一種制程控制系統，通過將不同制造系統間的數據串聯，以用于晶圓加工歷史數據的查詢，其特征在于，至少包括生產執行系統、設備自動化系統及中間系統，

所述生產執行系統提供產品的制造工藝數據至設備自動化系統，所述產品制造設備傳遞工藝數據和設備數據至設備自動化系統；

所述設備自動化系統將收集的所述制造工藝數據、所述工藝數據及所述設備數據整合成生產數據并對每一批次的產品對應的所述生產數據生成唯一的標識符，且將所述標識符及所述標識符對應的生產數據存儲至所述中間系統；

所述設備自動化系統將所述標識符上傳至設定的制造系統。

11.根據權利要求10所述的制程控制系統，其特征在于，所述設定的制造系統包括自動控制系統配方管理系統、故障檢測分類系統及自動控制系統。