[發明專利]液體供應系統在審
| 申請號： | 202011619308.6 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN113120442A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 林子揚;吳承翰;劉朕與;曾國書;李尚昇;徐振益;張育正 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B65D88/54 | 分類號： | B65D88/54;B65D90/20;B65D90/48;B65D90/00 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液體 供應 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種液體供應系統，其特征在于，包含：
一儲存槽，用以儲存一制程化學流體，該儲存槽包含一分配口位于該儲存槽在一重力方向上的一最下部分；
一防撞框架，耦接至該儲存槽；以及
一集成感測器組件，設置于該防撞框架以及該儲存槽的至少一者上，以測量因應一流體的流體品質測量的流體品質的一變化。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司，未經臺灣積體電路制造股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202011619308.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種電子裝置
- 下一篇：優化裝置、溫度設置方法和溫度設置程序
