[發(fā)明專利]蒸鍍裝置及蒸鍍方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011619121.6
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112813383A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙文炎;王彥青
• 申請（專利權(quán)）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 娜拉

本申請實施例公開一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法。本申請實施例第一方面提供一種蒸鍍裝置，包括，掩膜板、蒸鍍源以及監(jiān)測設(shè)備，蒸鍍源通過掩膜板對待蒸鍍基板進(jìn)行蒸鍍，監(jiān)測設(shè)備用于監(jiān)測待蒸鍍基板靠近掩膜板一側(cè)表面的殘留物。采用本申請第一方面的蒸鍍方法得到的顯示面板，顯示面完整性高，整體顯示效果優(yōu)異，避免了顯示面出現(xiàn)黑斑的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法。

背景技術(shù)

具有有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示面板的顯示模組因具有高畫質(zhì)、省電、機身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點，而被廣泛的應(yīng)用于手機、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產(chǎn)品，成為顯示領(lǐng)域中的主流顯示模組。

然而，一般的顯示面板顯示過程中在顯示面上會出現(xiàn)黑斑，使得顯示面板顯示時出現(xiàn)整體的顯示內(nèi)容缺失，顯示面完整性差的問題。

因此，急需一種新的蒸鍍裝置及蒸鍍方法。

發(fā)明內(nèi)容

本申請實施例提供一種蒸鍍裝置及蒸鍍方法。采用本申請實施例提供的蒸鍍裝置得到的顯示面板顯示面完整性高，整體顯示質(zhì)量好，避免顯示面出現(xiàn)黑斑的問題。

本申請實施例第一方面提供一種蒸鍍裝置，包括：

掩膜板、蒸鍍源以及監(jiān)測設(shè)備，蒸鍍源通過掩膜板對待蒸鍍基板進(jìn)行蒸鍍，監(jiān)測設(shè)備用于監(jiān)測待蒸鍍基板靠近掩膜板一側(cè)表面的殘留物。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，監(jiān)測設(shè)備包括至少一組發(fā)射器和接收器；

發(fā)射器用于向掩膜板和待蒸鍍基板之間的間隙發(fā)射檢測波，接收器用于接收檢測波以判斷殘留物的高度是否超過預(yù)設(shè)值。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，接收器接收殘留物反射的檢測波。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，檢測波與待蒸鍍基板之間最短距離為L，掩膜板和待蒸鍍基板之間的間隙距離為H，最短距離L和間隙距離H之間滿足以下關(guān)系式(1)：

L/H＝K 式(1)

其中，距離比值K的取值范圍是0.05至0.5；

優(yōu)選的，距離比值K的取值范圍是0.05至0.2；

優(yōu)選的，間隙距離H的取值范圍是10微米至100微米；

優(yōu)選的，所述最短距離L的取值范圍是5微米至10微米。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，發(fā)射器發(fā)射紅外線或超聲波。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，監(jiān)測設(shè)備還包括信息處理裝置，用于根據(jù)接收器接收的檢測波判斷殘留物的高度是否超過預(yù)設(shè)值，當(dāng)判斷殘留物的高度超過預(yù)設(shè)值，信息處理裝置發(fā)出報警指令；

報警器，用于接收報警指令并發(fā)出警報。

在本申請實施例第一方面一種可能的實施方式中，監(jiān)測設(shè)備還包括控制模塊，控制模塊用于接收報警指令并控制蒸鍍裝置停止工作。

本申請第二方面提供一種蒸鍍方法，蒸鍍方法包括：

固定待蒸鍍基板、并提供掩膜板與待蒸鍍基板進(jìn)行對位放置；

在待蒸鍍基板與掩膜板之間保持預(yù)設(shè)間隙的工藝條件下，利用蒸鍍源使蒸鍍材料通過掩膜板蒸鍍到待蒸鍍基板；

利用監(jiān)測設(shè)備對待蒸鍍基板靠近掩膜板一側(cè)表面的殘留物進(jìn)行監(jiān)測；

根據(jù)殘留物的監(jiān)測數(shù)據(jù)確定是否停止使用當(dāng)前掩膜板持續(xù)蒸鍍作業(yè)。