[發(fā)明專利]一種雙臺面激光直寫曝光機(jī)的對位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011616080.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112731772B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪孝軍;梅文輝;王建新;李貴鴻
• 申請（專利權(quán)）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44286
• 代理人: 唐飚

本發(fā)明公開了一種雙臺面激光直寫曝光機(jī)的對位方法，本方法改變了視覺標(biāo)定點(diǎn)的設(shè)置位置，使視覺標(biāo)定點(diǎn)能夠沿X方向移動(dòng)，從而在標(biāo)定視覺單元的位置時(shí)，視覺單元不用移動(dòng)，而且標(biāo)定后也視覺單元不用移動(dòng)到能夠看到mark點(diǎn)的范圍進(jìn)行對位，降低了運(yùn)動(dòng)的累計(jì)誤差，提高了對位的精度；因?yàn)橐曈X單元的位置標(biāo)定時(shí)是通過視覺標(biāo)定點(diǎn)移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的，而曝光引擎的移動(dòng)精度本身就很高，因而視覺單元的移動(dòng)機(jī)構(gòu)不再需要很高的精度，降低了視覺單元控制的難度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種數(shù)字化激光直寫曝光系統(tǒng)，特別是一種高效率的雙臺面曝光機(jī)及曝光方法。

背景技術(shù)

雙臺面的激光直寫曝光機(jī)，在市場上雙臺面的曝光機(jī)，其對位機(jī)構(gòu)一般放置于曝光引擎前面，對位機(jī)構(gòu)包括有兩到三個(gè)可以在曝光引擎步進(jìn)方向移動(dòng)的視覺單元，曝光引擎及視覺單元移動(dòng)的路線是平行的且均只能在X方向移動(dòng)；而抓取電路板的吸盤在Y方向移動(dòng)，吸盤上設(shè)有用于確定曝光引擎與視覺單元相對位置的視覺標(biāo)定點(diǎn)及攝像頭，需曝光的電路板上設(shè)有用于確定電路板與視覺單元相對位置的mark點(diǎn)，在設(shè)備組裝好后因?yàn)橐曈X單元和曝光引擎不在同一軌道上做X向移動(dòng)，因而先需要對視覺單元和曝光引擎兩者間的相對位置進(jìn)行確定，然后才能將視覺單元相對于電路板上的位置坐標(biāo)轉(zhuǎn)化成為曝光引擎相對于電路板的位置坐標(biāo)，我們才能通過曝光引擎和吸盤的移動(dòng)使曝光引擎在電路板上準(zhǔn)確位置曝光出預(yù)設(shè)的圖形，曝光引擎和視覺單元相對位置確定是通過視覺單元看到視覺標(biāo)定點(diǎn)并確定與視覺標(biāo)定點(diǎn)的相對位置，然后曝光引擎在吸盤上投射引擎標(biāo)定點(diǎn)，攝像頭同時(shí)看到引擎標(biāo)定點(diǎn)和視覺標(biāo)定點(diǎn)，然后經(jīng)過計(jì)算得出曝光引擎與視覺單元的相對位置關(guān)系。

因?yàn)榕_面較大，因而視覺單元需在左臺面和右臺面分別標(biāo)定一個(gè)位置，從而才能對左臺面和右臺面上的電路板進(jìn)行對位，視覺系統(tǒng)從左邊臺面移動(dòng)到右邊臺面，一般移動(dòng)的距離比較長，這樣整個(gè)系統(tǒng)的對位精度就會(huì)受到視覺系統(tǒng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的影響，而且影響較大，會(huì)降低系統(tǒng)的對位精度，當(dāng)然上述也可以采用設(shè)置多個(gè)視覺單元來解決，每個(gè)視覺單元在X方向上對應(yīng)一個(gè)標(biāo)定位置，這樣可以避免視覺單元大范圍移動(dòng)影響精度的缺陷，這個(gè)標(biāo)定位置確定好后，以后加工各種規(guī)格的電路板時(shí)視覺單元都以這個(gè)對應(yīng)的標(biāo)定位置作為原始位置。但是因?yàn)榫€路板的規(guī)格不同，因而線路板上的mark點(diǎn)在X向位置相差較大，視覺單元對mark點(diǎn)進(jìn)行對位時(shí)視覺單元還是需要從標(biāo)定位置移動(dòng)到能夠看到mark點(diǎn)位置進(jìn)行對位，雖然這樣移動(dòng)的距離比較短，但是只要移動(dòng)就會(huì)對精度造成一定的影響，因而有必要設(shè)計(jì)一種對位方法解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種雙臺面激光直寫曝光機(jī)的對位方法，不僅效率高而且能夠提高曝光精度。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種雙臺面激光直寫曝光機(jī)的對位方法，包括曝光引擎、視覺單元、吸盤及設(shè)置于吸盤上的攝像頭，其特征在于：步驟如下：

S1：在曝光引擎上設(shè)置視覺標(biāo)定點(diǎn)，

S2：加載生產(chǎn)資料到曝光機(jī)內(nèi)，通過生產(chǎn)資料里面的坐標(biāo)數(shù)據(jù)使視覺單元移動(dòng)到相應(yīng)的位置并在該位置可以識別待曝光電路板上的Mark點(diǎn)，該位置為加工該規(guī)格電路板所設(shè)定的臨時(shí)標(biāo)定位置，

S3：使曝光引擎沿X方向移動(dòng)使視覺單元能夠看到視覺標(biāo)定點(diǎn)并標(biāo)定視覺單元此時(shí)的位置；使吸盤沿Y方向移動(dòng)使攝像頭能夠看到視覺標(biāo)定點(diǎn)并且使曝光引擎在吸盤上投射的引擎標(biāo)定點(diǎn)，該攝像頭同時(shí)看到引擎標(biāo)定點(diǎn)，然后經(jīng)過計(jì)算得出曝光引擎與視覺單元的相對位置關(guān)系。

所述電路板上相對具有兩列Mark點(diǎn)，分別位于電路板的兩側(cè)，所述視覺單元對應(yīng)設(shè)有兩套，每套視覺單元對應(yīng)一列Mark點(diǎn)。