[發(fā)明專利]一種雙臺(tái)面激光直寫曝光機(jī)的對位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011616080.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN112731772B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪孝軍;梅文輝;王建新;李貴鴻
• 申請（專利權(quán)）人: 中山新諾科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44286
• 代理人: 唐飚

1.一種雙臺(tái)面激光直寫曝光機(jī)的對位方法，包括曝光引擎、視覺單元、吸盤及設(shè)置于吸盤上的攝像頭，其特征在于：步驟如下：

S1：在曝光引擎上設(shè)置視覺標(biāo)定點(diǎn)，

S2：加載生產(chǎn)資料到曝光機(jī)內(nèi)，通過生產(chǎn)資料里面的坐標(biāo)數(shù)據(jù)使視覺單元移動(dòng)到相應(yīng)的位置并在該位置可以識(shí)別待曝光電路板上的Mark點(diǎn)，該位置為臨時(shí)標(biāo)定位置，該臨時(shí)標(biāo)定位置只能用于生產(chǎn)同一規(guī)格的電路板，電路板的規(guī)格更換后因?yàn)镸ark點(diǎn)的位置變化，視覺單元在以前的位置無法看到規(guī)格更換后的電路板的Mark點(diǎn)，因而視覺單元需要通過輸入新的生產(chǎn)資料找新的臨時(shí)標(biāo)定位置，

S3：使曝光引擎沿X方向移動(dòng)使視覺單元能夠看到視覺標(biāo)定點(diǎn)并標(biāo)定視覺單元此時(shí)的位置，視覺單元不用移動(dòng)；使吸盤沿Y方向移動(dòng)使攝像頭能夠看到視覺標(biāo)定點(diǎn)并且使曝光引擎在吸盤上投射的引擎標(biāo)定點(diǎn)，該攝像頭同時(shí)看到引擎標(biāo)定點(diǎn)，然后經(jīng)過計(jì)算得出曝光引擎與視覺標(biāo)定點(diǎn)的精確位置，從而計(jì)算出曝光引擎與視覺單元的相對位置關(guān)系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙臺(tái)面激光直寫曝光機(jī)的對位方法，其特征在于：所述電路板上相對具有兩列Mark點(diǎn)，分別位于電路板的兩側(cè)，所述視覺單元對應(yīng)設(shè)有兩套，每套視覺單元對應(yīng)一列Mark點(diǎn)。