[發(fā)明專利]用于電子產(chǎn)品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置

在審

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• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112484520A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉曄
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫海悅生化裝備有限公司
• 主分類號: F28B7/00
• 分類號: F28B7/00;F28B1/02;F24H3/02
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 張寧

本發(fā)明提供了用于電子產(chǎn)品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其能產(chǎn)生干燥、常溫、潔凈的高壓空氣，從而可以用于電子產(chǎn)品腐蝕液的生產(chǎn)。其包括高壓風機，所述高壓風機的進風口連接有初效過濾器，所述高壓風機的出風口依次連接有一級空冷器、分水器一、二級空冷器、分水器二、空氣加熱器和高效過濾器，所述一級空冷器上設有循環(huán)水進口和循環(huán)水出口，所述二級空冷器上設有冷凍水進口和冷凍水出口，所述冷凍水進口和所述冷凍水出口分別與冷水機組的出口和進口連接，所述空氣加熱器上設有蒸汽入口。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及空氣處理技術(shù)領(lǐng)域，具體為用于電子產(chǎn)品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置。

背景技術(shù)

電子產(chǎn)品腐蝕液在生產(chǎn)時，需要持續(xù)通入干燥、常溫的高壓空氣，但是空氣經(jīng)過高壓風機后其溫度往往會升至65℃左右，同時濕度升高，不能直接用于電子產(chǎn)品腐蝕液的加工，另外，空氣中往往會有許多灰塵顆粒，這些灰塵顆粒也會對制得的電子產(chǎn)品腐蝕液的性能產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容

針對空氣經(jīng)過高壓風機后溫度濕度升高不能用于電子產(chǎn)品腐蝕液的生產(chǎn)的問題，本發(fā)明提供了用于電子產(chǎn)品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其能產(chǎn)生干燥、常溫、潔凈的高壓空氣，從而可以用于電子產(chǎn)品腐蝕液的生產(chǎn)。

其技術(shù)方案是這樣的：用于電子產(chǎn)品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其包括高壓風機，其特征在于：所述高壓風機的進風口連接有初效過濾器，所述高壓風機的出風口依次連接有一級空冷器、分水器一、二級空冷器、分水器二、空氣加熱器和高效過濾器，所述一級空冷器的底部和頂部分別設有循環(huán)水進口和循環(huán)水出口，所述二級空冷器上的底部和頂部分別設有冷凍水進口和冷凍水出口，所述冷凍水進口和所述冷凍水出口分別與冷水機組的出口和進口連接，所述空氣加熱器的頂部和底部分別設有蒸汽入口和排水口，所述循環(huán)水進口、所述冷凍水進口和所述蒸汽入口分別用于通入換熱介質(zhì)，所述循環(huán)水出口、所述冷凍水出口和所述排水口分別用于排出換熱介質(zhì)。

其進一步特征在于：

所述一級空冷器和所述二級空冷器分別包括空冷器殼體、設于所述空冷器殼體前后端的進風口和出風口、設于所述空冷器殼體中間的換熱管箱，所述換熱管箱下端設有所述循環(huán)水進口或者所述冷凍水進口，所述換熱管箱上端設有所述循環(huán)水出口或者所述冷凍水出口；

所述一級空冷器的進出口位置分別設有測溫口，所述二級空冷器的出口位置設有測溫口；

所述換熱管箱包括位于上部的主出水管、位于下部的主進水管和位于所述主進水管和所述主出水管之間的翅片換熱管，所述主進水管與所述循環(huán)水進口或者所述冷凍水進口連接，所述主出水管與所述循環(huán)水出口或者所述冷凍水出口連接；

所述空氣加熱器包括加熱器殼體、設于所述加熱器殼體前后端的進氣口和出氣口、設于所述加熱器殼體中間的加熱管箱，所述加熱管箱上端設有所述蒸汽入口，所述加熱管箱下端設有所述排水口；

所述加熱器殼體后部還設有測溫口；

所述加熱管箱包括位于上部的主進氣管、位于下部的主排水管和位于所述主進氣管和所述主排水管之間的翅片加熱管，所述主進氣管與所述蒸汽入口連接，所述主排水管與所述排水口連接；

所述分水器一、所述分水器二為收集式分水器；

所述冷凍水進口通入的冷凍水溫度為0攝氏度；所述二級空冷器排出的空氣溫度大于3攝氏度。

本發(fā)明的有益效果為：空氣通過高壓風機吸入，同時通過初效過濾器進行初步過濾除塵，然后經(jīng)過一級空冷器降溫同時通過分水器一除水，再通過二級空冷器再次降溫并通過分水器二除水，通過空氣加熱器加熱升溫，最后通入高效過濾器進行最終過濾除塵，最終能夠排出干燥、常溫、干凈的高壓空氣，能夠滿足電子產(chǎn)品腐蝕液制備的需要。

附圖說明

圖1為本發(fā)明流程圖；

圖2為一級空冷器結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為二級空冷器結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為換熱管箱結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為空氣加熱器結(jié)構(gòu)示意圖；