[發(fā)明專利]用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置

在審

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• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN112484520A
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉曄
• 申請（專利權）人: 無錫海悅生化裝備有限公司
• 主分類號: F28B7/00
• 分類號: F28B7/00;F28B1/02;F24H3/02
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 張寧

1.用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其包括高壓風機，其特征在于：所述高壓風機的進風口連接有初效過濾器，所述高壓風機的出風口依次連接有一級空冷器、分水器一、二級空冷器、分水器二、空氣加熱器和高效過濾器，所述一級空冷器的底部和頂部分別設有循環(huán)水進口和循環(huán)水出口，所述二級空冷器上的底部和頂部分別設有冷凍水進口和冷凍水出口，所述冷凍水進口和所述冷凍水出口分別與冷水機組的出口和進口連接，所述空氣加熱器的頂部和底部分別設有蒸汽入口和排水口，所述循環(huán)水進口、所述冷凍水進口和所述蒸汽入口分別用于通入換熱介質，所述循環(huán)水出口、所述冷凍水出口和所述排水口分別用于排出換熱介質。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述一級空冷器和所述二級空冷器分別包括空冷器殼體、設于所述空冷器殼體前后端的進風口和出風口、設于所述空冷器殼體中間的換熱管箱，所述換熱管箱下端設有所述循環(huán)水進口或者所述冷凍水進口，所述換熱管箱上端設有所述循環(huán)水出口或者所述冷凍水出口。

3.根據(jù)權利要求2所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述一級空冷器的進出口位置分別設有測溫口，所述二級空冷器的出口位置設有測溫口。

4.根據(jù)權利要求2或3所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述換熱管箱包括位于上部的主出水管、位于下部的主進水管和位于所述主進水管和所述主出水管之間的翅片換熱管，所述主進水管與所述循環(huán)水進口或者所述冷凍水進口連接，所述主出水管與所述循環(huán)水出口或者所述冷凍水出口連接。

5.根據(jù)權利要求1所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述空氣加熱器包括加熱器殼體、設于所述加熱器殼體前后端的進氣口和出氣口、設于所述加熱器殼體中間的加熱管箱，所述加熱管箱上端設有所述蒸汽入口，所述加熱管箱下端設有所述排水口。

6.根據(jù)權利要求5所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述加熱器殼體后部還設有測溫口。

7.根據(jù)權利要求5或6所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述加熱管箱包括位于上部的主進氣管、位于下部的主排水管和位于所述主進氣管和所述主排水管之間的翅片加熱管，所述主進氣管與所述蒸汽入口連接，所述主排水管與所述排水口連接。

8.根據(jù)權利要求1所述的用于電子產品腐蝕液制備的臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述分水器一、所述分水器二為收集式分水器。

9.根據(jù)權利要求1所述的一種臨界式空氣處理裝置，其特征在于：所述冷凍水進口通入的冷凍水溫度為0攝氏度；所述二級空冷器排出的空氣溫度大于3攝氏度。