[發明專利]一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極在審
| 申請號: | 202011614982.5 | 申請日: | 2020-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN112652509A | 公開(公告)日: | 2021-04-13 |
| 發明(設計)人: | 李文亮;周博文;侯瑞;張鵬蛟;張鴻;孫安;李俊周 | 申請(專利權)人: | 南京大學;南京質子源工程技術研究院有限公司;江蘇安德信超導加速器科技有限公司 |
| 主分類號: | H01J3/40 | 分類號: | H01J3/40;H01J3/04 |
| 代理公司: | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 顧翰林 |
| 地址: | 210046 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 65 kev 雙等離子體離子源 質子 引出 電極 | ||
1.一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極,其特征在于:包括從前至后依次設置的陽極(22)、前隔套(19)、抑制電極(9)、后隔套(17)、地電極(13)和法蘭盤(14);
抑制電極(9)包括從后至前依次銜接的第一環形部(1)、第一錐筒部(5)和第二錐筒部(6),第二錐筒部(6)前端設置通孔(7);地電極(13)包括從后至前依次銜接的環形部(10)、錐筒部a(11)和錐筒部b(12),錐筒部b(12)前端也設置通孔(7);
地電極(13)的錐筒部b(12)前端伸入抑制電極(9)的第二錐筒部(6)內,錐筒部b(12)與第二錐筒部(6)相間隔,第一錐筒部(5)與錐筒部a(11)均設有通氣孔(8);
前隔套(19)與后隔套(17)均為陶瓷隔套;
法蘭盤(14)設有中心孔(21),法蘭盤(14)的中心孔(21)、地電極(13)內腔、后隔套(17)內腔、抑制電極(9)內腔和前隔套(19)內腔相互連通且五者構成的腔室為真空腔。
2.如權利要求1所述的一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極,其特征在于:陽極(22)包括陽極安裝板(20),陽極安裝板(20)、前隔套(19)、抑制電極(9)的第一環形部(1)、后隔套(17)、地電極(13)的環形部(10)和法蘭盤(14)依次接觸。
3.如權利要求1所述的一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極,其特征在于:前隔套(19)與抑制電極(9)的第一環形部(1)之間、抑制電極(9)的第一環形部(1)與后隔套(17)之間、后隔套(17)與地電極(13)的環形部(10)之間以及地電極(13)的環形部(10)與法蘭盤(14)之間均設有密封圈(15)。
4.如權利要求1所述的一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極,其特征在于:陽極(22)加一個外接的65KV的電源,抑制電極(9)加一個外接的-5KV的電源,地電極(13)連接地線。
5.如權利要求2所述的一種用于65KeV雙等離子體離子源質子引出的引出電極,其特征在于:陽極安裝板(20)與法蘭盤(14)之間通過陶瓷螺栓(16)固定連接。
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