[發(fā)明專利]一種晶圓的清洗方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011613501.9
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開（公告）號(hào): CN112864051B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢誠(chéng);童建;霍召軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;F26B5/14;F26B5/16
• 代理公司: 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

本發(fā)明公開了一種晶圓的清洗方法，使用的裝置包括保護(hù)機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)、傳送機(jī)構(gòu)、清洗機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有所述傳送機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)上端連接有所述固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)上側(cè)設(shè)置有所述清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)之間通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述清洗機(jī)構(gòu)、所述傳送機(jī)構(gòu)動(dòng)力端均連接動(dòng)力機(jī)構(gòu)。本發(fā)明所述齒條起配合配合齒輪作用，從而使得晶圓在清潔時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，利用多級(jí)聯(lián)動(dòng)效果，提高了動(dòng)能利用率，同時(shí)能夠進(jìn)行配合運(yùn)動(dòng)清洗提高清洗效果，利用移動(dòng)的固定座配合按壓彈性閥進(jìn)行噴水清洗，同時(shí)避免清潔劑的空噴，從而提高清潔劑的使用效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓加工領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓的清洗方法。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。目前國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以8英寸和12英寸為主。

在目前的晶圓清洗中，大部分都采用清潔槽超聲波方式進(jìn)行清洗，雖然這種方式能夠使得晶圓清潔，并且清洗后需要撈出瀝水、擦拭、烘干，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，同時(shí)清潔劑的使用效率也不高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種晶圓的清洗方法。

本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的：

一種晶圓的清洗方法，

使用的裝置包括保護(hù)機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)、傳送機(jī)構(gòu)、清洗機(jī)構(gòu)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有所述傳送機(jī)構(gòu)，所述傳送機(jī)構(gòu)上端連接有所述固定機(jī)構(gòu)，所述固定機(jī)構(gòu)上側(cè)設(shè)置有所述清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)之間通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述清洗機(jī)構(gòu)、所述傳送機(jī)構(gòu)動(dòng)力端均連接動(dòng)力機(jī)構(gòu)；

所述保護(hù)機(jī)構(gòu)包括循環(huán)水箱、固定座、萬(wàn)向輪、清潔箱，所述循環(huán)水箱上端設(shè)置有所述清潔箱，所述循環(huán)水箱內(nèi)部設(shè)置有水槽和循環(huán)泵，所述循環(huán)水箱下端設(shè)置有所述固定座，所述固定座一側(cè)設(shè)置有所述萬(wàn)向輪；

所述固定機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)臺(tái)、固定座、固定盤、配合齒輪，所述移動(dòng)臺(tái)上端安裝有所述固定座，所述固定座內(nèi)部設(shè)置有被動(dòng)齒輪，所述被動(dòng)齒輪一端和所述配合齒輪嚙合，所述被動(dòng)齒輪上連接有所述固定盤，所述固定盤上端安裝有五個(gè)吸盤，所述固定盤和所述清潔箱之間設(shè)置有齒條；

所述傳送機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)鏈輪、鏈輪軸、傳動(dòng)鏈條、卡扣連接塊，所述鏈輪軸通過(guò)軸承座連接所述循環(huán)水箱，所述鏈輪軸上安裝有所述傳動(dòng)鏈輪，所述傳動(dòng)鏈輪外部連接有所述傳動(dòng)鏈條，所述傳動(dòng)鏈條上安裝有所述卡扣連接塊；

所述清洗機(jī)構(gòu)包括第一清洗滾筒刷、第二清洗滾筒刷、除水刷、吸水滾筒，所述第一清洗滾筒刷、所述第二清洗滾筒刷、所述除水刷、所述吸水滾筒均安裝在中心軸上，所述中心軸通過(guò)軸承座連接所述清潔箱，三個(gè)噴水嘴安裝在所述清潔箱內(nèi)側(cè)，所述噴水嘴進(jìn)水端安裝有進(jìn)水管，所述進(jìn)水管和所述鏈輪軸之間設(shè)置有按壓彈性閥，所述第二清洗滾筒刷和所述除水刷之間設(shè)置有高壓噴槍；

所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、第一鏈輪組、第二鏈輪組，所述第二鏈輪組安裝在所述循環(huán)水箱內(nèi)側(cè)，所述伺服電機(jī)通過(guò)所述第一鏈輪組連接所述中心軸，所述伺服電機(jī)通過(guò)所述第二鏈輪組連接所述鏈輪軸；

所述方法，包括以下幾個(gè)步驟：

a、將晶圓放置在固定盤上端，然后利用吸盤對(duì)晶圓進(jìn)行固定，再將移動(dòng)臺(tái)放置在傳動(dòng)鏈條上端，利用卡扣連接塊的卡接力將移動(dòng)臺(tái)固定；

b、啟動(dòng)伺服電機(jī)，使伺服電機(jī)帶動(dòng)鏈輪軸和中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在對(duì)晶圓進(jìn)行傳送的同時(shí)，第一清洗滾筒刷、第二清洗滾筒刷、除水刷、吸水滾筒開始旋轉(zhuǎn)；

c、經(jīng)過(guò)傳動(dòng)鏈條的傳送，移動(dòng)臺(tái)在清潔箱內(nèi)側(cè)移動(dòng)，同時(shí)固定座接觸到按壓彈性閥，從而噴水嘴噴出高壓清潔劑進(jìn)行清潔，在兩個(gè)固定座間隙噴水嘴不噴水；