[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓的清洗方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011613501.9
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112864051B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢(qián)誠(chéng);童建;霍召軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;F26B5/14;F26B5/16
• 代理公司: 北京商專(zhuān)潤(rùn)文專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種晶圓的清洗方法，其特征在于，

使用的裝置包括保護(hù)機(jī)構(gòu)(1)、固定機(jī)構(gòu)(2)、傳送機(jī)構(gòu)(3)、清洗機(jī)構(gòu)(4)，所述保護(hù)機(jī)構(gòu)(1)上設(shè)置有所述傳送機(jī)構(gòu)(3)，所述傳送機(jī)構(gòu)(3)上端連接有所述固定機(jī)構(gòu)(2)，所述固定機(jī)構(gòu)(2)上側(cè)設(shè)置有所述清洗機(jī)構(gòu)(4)，所述清洗機(jī)構(gòu)(4)之間通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)連接，所述清洗機(jī)構(gòu)(4)、所述傳送機(jī)構(gòu)(3)動(dòng)力端均連接動(dòng)力機(jī)構(gòu)(6)；

所述保護(hù)機(jī)構(gòu)(1)包括循環(huán)水箱(11)、固定座(12)、萬(wàn)向輪(13)、清潔箱(14)，所述循環(huán)水箱(11)上端設(shè)置有所述清潔箱(14)，所述循環(huán)水箱(11)內(nèi)部設(shè)置有水槽和循環(huán)泵，所述循環(huán)水箱(11)下端設(shè)置有所述固定座(12)，所述固定座(12)一側(cè)設(shè)置有所述萬(wàn)向輪(13)；

所述固定機(jī)構(gòu)(2)包括移動(dòng)臺(tái)(21)、固定座(22)、固定盤(pán)(23)、配合齒輪(24)，所述移動(dòng)臺(tái)(21)上端安裝有所述固定座(22)，所述固定座(22)內(nèi)部設(shè)置有被動(dòng)齒輪(26)，所述被動(dòng)齒輪(26)一端和所述配合齒輪(24)嚙合，所述被動(dòng)齒輪(26)上連接有所述固定盤(pán)(23)，所述固定盤(pán)(23)上端安裝有五個(gè)吸盤(pán)(25)，所述固定盤(pán)(23)和所述清潔箱(14)之間設(shè)置有齒條(27)；

所述傳送機(jī)構(gòu)(3)包括傳動(dòng)鏈輪(31)、鏈輪軸(32)、傳動(dòng)鏈條(33)、卡扣連接塊(34)，所述鏈輪軸(32)通過(guò)軸承座連接所述循環(huán)水箱(11)，所述鏈輪軸(32)上安裝有所述傳動(dòng)鏈輪(31)，所述傳動(dòng)鏈輪(31)外部連接有所述傳動(dòng)鏈條(33)，所述傳動(dòng)鏈條(33)上安裝有所述卡扣連接塊(34)；

所述清洗機(jī)構(gòu)(4)包括第一清洗滾筒刷(41)、第二清洗滾筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滾筒(44)，所述第一清洗滾筒刷(41)、所述第二清洗滾筒刷(42)、所述除水刷(43)、所述吸水滾筒(44)均安裝在中心軸(45)上，所述中心軸(45)通過(guò)軸承座連接所述清潔箱(14)，三個(gè)噴水嘴(46)安裝在所述清潔箱(14)內(nèi)側(cè)，所述噴水嘴(46)進(jìn)水端安裝有進(jìn)水管(47)，所述進(jìn)水管(47)和所述鏈輪軸(32)之間設(shè)置有按壓彈性閥(48)，所述第二清洗滾筒刷(42)和所述除水刷(43)之間設(shè)置有高壓噴槍(49)；

所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)(6)包括伺服電機(jī)(61)、第一鏈輪組(62)、第二鏈輪組(63)，所述第二鏈輪組(63)安裝在所述循環(huán)水箱(11)內(nèi)側(cè)，所述伺服電機(jī)(61)通過(guò)所述第一鏈輪組(62)連接所述中心軸(45)，所述伺服電機(jī)(61)通過(guò)所述第二鏈輪組(63)連接所述鏈輪軸(32)；

所述方法，包括以下幾個(gè)步驟：

a、將晶圓放置在固定盤(pán)(23)上端，然后利用吸盤(pán)(25)對(duì)晶圓進(jìn)行固定，再將移動(dòng)臺(tái)(21)放置在傳動(dòng)鏈條(33)上端，利用卡扣連接塊(34)的卡接力將移動(dòng)臺(tái)(21)固定；

b、啟動(dòng)伺服電機(jī)(61)，使伺服電機(jī)(61)帶動(dòng)鏈輪軸(32)和中心軸(45)轉(zhuǎn)動(dòng)，在對(duì)晶圓進(jìn)行傳送的同時(shí)，第一清洗滾筒刷(41)、第二清洗滾筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滾筒(44)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)；

c、經(jīng)過(guò)傳動(dòng)鏈條(33)的傳送，移動(dòng)臺(tái)(21)在清潔箱(14)內(nèi)側(cè)移動(dòng)，同時(shí)固定座(22)接觸到按壓彈性閥(48)，從而噴水嘴(46)噴出高壓清潔劑進(jìn)行清潔，在兩個(gè)固定座(22)間隙噴水嘴(46)不噴水；

d、在傳送同時(shí)，配合齒輪(24)和齒條(27)嚙合，從而使得晶圓開(kāi)始旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)過(guò)第一清洗滾筒刷(41)、第二清洗滾筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滾筒(44)的清洗以及三個(gè)噴水嘴(46)的清洗，完成晶圓的清洗。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓的清洗方法，其特征在于，所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)包括聯(lián)動(dòng)鏈輪(51)、聯(lián)動(dòng)鏈條(52)，所述聯(lián)動(dòng)鏈輪(51)連接在所述中心軸(45)上，所述聯(lián)動(dòng)鏈輪(51)之間通過(guò)所述聯(lián)動(dòng)鏈條(52)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓的清洗方法，其特征在于，所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)包括主動(dòng)錐齒輪(511)、被動(dòng)錐齒輪(512)、蝸桿(513)、蝸輪(514)，所述主動(dòng)錐齒輪(511)連接在第一個(gè)所述中心軸(45)上，所述主動(dòng)錐齒輪(511)下端和所述被動(dòng)錐齒輪(512)嚙合，所述被動(dòng)錐齒輪(512)上連接有所述蝸桿(513)，所述蝸桿(513)上嚙合有三個(gè)所述蝸輪(514)。