[發明專利]一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備

有效

• 申請號: 202011612103.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112828707B
• 公開（公告）日: 2023-02-07
• 發明（設計）人: 錢超;楊波;洪明;王有明
• 申請（專利權）人: 江蘇高光半導體材料有限公司
• 主分類號: B24B9/04
• 分類號: B24B9/04;B24B55/06;B24B47/04;B24B41/06;B24B41/02
• 代理公司: 安徽華晟智恒知識產權代理事務所(普通合伙) 34193
• 代理人: 王媛媛

1.一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備，包括底板(1)，所述底板(1)的頂部外壁通過螺栓固定有撐環板(21)，其特征在于，所述撐環板(21)的頂端設置有從動轉筒(22)，且從動轉筒(22)的中端圓周外壁焊接有邊環板(20)，所述邊環板(20)與撐環板(21)的相對一側均開有環形槽(6)，且對應兩個環形槽(6)的內壁滾動連接有等距離分布的滾珠(5)，所述撐環板(21)的頂端外壁通過螺栓固定有臺板(23)，且臺板(23)的底部外壁開有安裝槽，所述安裝槽的內壁通過螺栓固定有電磁鐵(24)；所述底板(1)的頂部外壁靠近從動轉筒(22)的一端通過螺栓固定有驅動電機(3)，且驅動電機(3)的輸出軸鍵連接有驅動齒輪(4)，所述從動轉筒(22)靠近底端的圓周內壁固定安裝有與從動轉筒(22)相嚙合的驅動齒輪(4)的內齒環(25)；

所述底板(1)的頂部外壁通過螺栓固定有安裝端框，且安裝端框靠近頂部的一端通過軸承轉動連接有螺紋絲桿(16)，所述螺紋絲桿(16)的一端通過螺紋連接有移動端塊(12)，所述移動端塊(12)的底部外壁通過螺栓固定有電動伸縮桿(14)，且電動伸縮桿(14)的延伸桿端部通過螺栓固定有安裝圓板(26)，所述安裝圓板(26)的底部外壁通過螺栓固定有打磨器(2)；所述移動端塊(12)與安裝圓板(26)的相對一側通過鉸鏈連接有等距離環形分布的限位鉸桿(15)，且限位鉸桿均有兩個相互鉸接的端桿組成；

所述臺板(23)的一側安裝有清潔機構，所述清潔機構包括開設于臺板(23)頂端的平槽口(2301)，且平槽口(2301)的兩側形成擋邊；所述臺板(23)的一側通過螺栓固定有小型氣泵(8)，且小型氣泵(8)的輸出端固定連接有輸風母管(10)，所述輸風母管(10)的一側固定連接有等距離分布的斜支管(11)；所述平槽口(2301)遠離小型氣泵(8)的一端兩側均設置有弧托邊(2302)；所述從動轉筒(22)靠近弧托邊(2302)的一側外壁通過螺栓固定有固定端盒(19)，且固定端盒(19)的內部滑動連接有收集抽盒(18)。

2.根據權利要求1所述的一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備，其特征在于，所述安裝端框的底部外壁開有限位頂滑槽(17)，且移動端塊(12)的頂部外壁焊接有與限位頂滑槽(17)滑動連接的限位滑塊(13)。

3.根據權利要求1所述的一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備，其特征在于，所述螺紋絲桿(16)的一端通過聯軸器連接有伺服電機(9)，且安裝端框與底板(1)的一端相對一側通過螺栓固定有加強斜桿(7)。