[發明專利]一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備

有效

• 申請號: 202011612103.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN112828707B
• 公開（公告）日: 2023-02-07
• 發明（設計）人: 錢超;楊波;洪明;王有明
• 申請（專利權）人: 江蘇高光半導體材料有限公司
• 主分類號: B24B9/04
• 分類號: B24B9/04;B24B55/06;B24B47/04;B24B41/06;B24B41/02
• 代理公司: 安徽華晟智恒知識產權代理事務所(普通合伙) 34193
• 代理人: 王媛媛

本發明屬于工業加工技術領域，尤其是一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備，包括底板，所述底板的頂部外壁通過螺栓固定有撐環板，其特征在于，所述撐環板的頂端設置有從動轉筒，且從動轉筒的中端圓周外壁焊接有邊環板，所述邊環板與撐環板的相對一側均開有環形槽，且對應兩個環形槽的內壁滾動連接有等距離分布的滾珠，所述撐環板的頂端外壁通過螺栓固定有臺板。本發明通過設置的驅動電機，能夠利用驅動齒輪、內齒環的傳動作用帶動從動轉筒、臺板轉動，從而有效改變打磨位置；通過設置的伺服電機能夠帶動螺紋絲桿轉動，從而在限位滑塊的作用下，帶動移動端塊移動，從而實現對打磨器的位置調節，方便對工件的全方位的打磨處理。

技術領域

本發明涉及工業加工技術領域，尤其涉及一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備。

背景技術

芯片指的是將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜集成電路，另有一種厚膜集成電路是由獨立半導體設備和被動組件，集成到襯底或線路板所構成的小型化電路。現代計算、交流、制造和交通系統，包括互聯網，全都依賴于集成電路的存在。在芯片制造里，掩膜版就是光罩。它可以被理解為包含芯片版圖信息的膠片，經過曝光以后，掩膜版里的版圖就被刻到了晶圓上。光掩膜基版是制作微細光掩膜圖形的理想感光性空白板，通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版。金屬掩膜版在生產加工過程中常常需要對其框架進行打磨處理。

傳統的金屬掩膜版框架打磨設計較為簡單，在實際使用時，需要人員手持打磨器，并頻繁調節打磨位置，實際使用過程中的打磨效率較為一般，因而存在一定的局限性。

發明內容

基于傳統的金屬掩膜版框架打磨設計較為簡單，在實際使用時，需要人員手持打磨器，并頻繁調節打磨位置的技術問題，本發明提出了一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備。

本發明提出的一種金屬掩膜版框架表面毛刺去除設備，包括底板，所述底板的頂部外壁通過螺栓固定有撐環板，其特征在于，所述撐環板的頂端設置有從動轉筒，且從動轉筒的中端圓周外壁焊接有邊環板，所述邊環板與撐環板的相對一側均開有環形槽，且對應兩個環形槽的內壁滾動連接有等距離分布的滾珠，所述撐環板的頂端外壁通過螺栓固定有臺板，且臺板的底部外壁開有安裝槽，所述安裝槽的內壁通過螺栓固定有電磁鐵，所述底板的頂部外壁通過螺栓固定有安裝端框，且安裝端框靠近頂部的一端通過軸承轉動連接有螺紋絲桿，所述螺紋絲桿的一端通過螺紋連接有移動端塊，所述移動端塊的底部外壁通過螺栓固定有電動伸縮桿，且電動伸縮桿的延伸桿端部通過螺栓固定有安裝圓板，所述安裝圓板的底部外壁通過螺栓固定有打磨器，所述臺板的一側安裝有清潔機構。

優選地，所述安裝端框的底部外壁開有限位頂滑槽，且移動端塊的頂部外壁焊接有與限位頂滑槽滑動連接的限位滑塊。

優選地，所述螺紋絲桿的一端通過聯軸器連接有伺服電機，且安裝端框與底板的一端相對一側通過螺栓固定有加強斜桿。

優選地，所述底板的頂部外壁靠近從動轉筒的一端通過螺栓固定有驅動電機，且驅動電機的輸出軸鍵連接有驅動齒輪。

優選地，所述從動轉筒靠近底端的圓周內壁固定安裝有與從動轉筒相嚙合的驅動齒輪的內齒環。

優選地，所述清潔機構包括開設與臺板頂端的平槽口，且平槽口的兩側形成擋邊。

優選地，所述臺板的一側通過螺栓固定有小型氣泵，且小型氣泵的輸出端固定連接有輸風母管，所述輸風母管的一側固定連接有等距離分布的斜支管。

優選地，所述平槽口遠離小型氣泵的一端兩側均設置有弧托邊。

優選地，所述從動轉筒靠近弧托邊的一側外壁通過螺栓固定有固定端盒，且固定端盒的內部滑動連接有收集抽盒。

優選地，所述移動端塊與安裝圓板的相對一側通過鉸鏈連接有等距離環形分布的限位鉸桿，且限位鉸桿均有兩個相互鉸接的端桿組成。

本發明中的有益效果為：