[發(fā)明專利]一種用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011611026.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112870827A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧信甫;國(guó)天增;劉大威;陳丁堃
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司;至微半導(dǎo)體（上海）有限公司
• 主分類號(hào): B01D36/00
• 分類號(hào): B01D36/00;B01D35/01;B01D19/02;H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 沈棟棟

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)，涉及到去氣泡技術(shù)領(lǐng)域，包括骨架、幫浦、加熱式緩沖器、主管路、輔助管路、酸液過(guò)濾器和固定閥件用板，其中，幫浦、加熱式緩沖器和酸液過(guò)濾器分別設(shè)于骨架上，且加熱式緩沖器和酸液過(guò)濾器位于幫浦的上側(cè)，加熱式緩沖器位于酸液過(guò)濾器的一側(cè)，幫浦通過(guò)主管路分別與酸液過(guò)濾器和加熱式緩沖器連接，加熱式緩沖器通過(guò)輔助管路與酸液過(guò)濾器連接，每一主管路分別通過(guò)一固定閥件用板與骨架連接固定。本發(fā)明中能夠減少酸液的結(jié)晶產(chǎn)生以及氣泡堆積的現(xiàn)象，避免間歇性的輸液造成不穩(wěn)定的濃度輸出的問(wèn)題導(dǎo)致的工藝進(jìn)行產(chǎn)生的晶圓表面不平整現(xiàn)象。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及到去氣泡技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其在濕法工藝的進(jìn)行，常態(tài)性的使用各種溶液，如酸、堿、有機(jī)溶液以及特殊的處理漿料等。在半導(dǎo)體晶圓的處理工藝如清洗、蝕刻、電鍍、拋光、研磨等工藝皆會(huì)使用上述溶劑或是混合溶液，而在學(xué)界以及產(chǎn)業(yè)界行內(nèi)皆有相關(guān)的文獻(xiàn)指出在晶圓使用濕法工藝過(guò)程中，因晶圓與溶液之間在反應(yīng)前后所產(chǎn)生的氣泡皆會(huì)在接觸時(shí)產(chǎn)生對(duì)工藝過(guò)程產(chǎn)品無(wú)法解決的缺失，導(dǎo)致產(chǎn)品損壞或是需要報(bào)廢的狀況產(chǎn)生，故建立一種可在濕法工藝的液體管路即可產(chǎn)生去除氣泡的裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)，用于解決上述技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)，包括骨架、幫浦、加熱式緩沖器、主管路、輔助管路、酸液過(guò)濾器和固定閥件用板，其中，所述幫浦、所述加熱式緩沖器和所述酸液過(guò)濾器分別設(shè)于所述骨架上，且所述加熱式緩沖器和所述酸液過(guò)濾器位于所述幫浦的上側(cè)，所述加熱式緩沖器位于所述酸液過(guò)濾器的一側(cè)，所述幫浦通過(guò)所述主管路分別與所述酸液過(guò)濾器和所述加熱式緩沖器連接，所述加熱式緩沖器通過(guò)所述輔助管路與所述酸液過(guò)濾器連接，每一所述主管路分別通過(guò)一所述固定閥件用板與所述骨架連接固定。

作為優(yōu)選，還包括加熱膜，所述輔助管路以及每一所述主管路的外側(cè)分別覆蓋有所述加熱膜。

作為優(yōu)選，還包括配重塊，所述幫浦的一側(cè)設(shè)有所述配重塊。

作為優(yōu)選，還包括過(guò)濾器固定件，所述酸液過(guò)濾器的上端設(shè)有所述過(guò)濾器固定件。

作為優(yōu)選，每一所述主管路分別豎直設(shè)置。

作為優(yōu)選，還包括分流管路，所述酸液過(guò)濾器的上端設(shè)有兩出液口，每一所述出液口的一端分別連接一所述分流管路。

作為進(jìn)一步的優(yōu)選，每一所述分流管路均包括第一管路和第二管路，且所述第一管路的一端與一所述出液口連接，所述第一管路的另一端與所述第二管路的一端連接。

作為進(jìn)一步的優(yōu)選，所述第一管路與所述第二管路垂直。

上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

(1)本發(fā)明中，利用混成酸液組成在一動(dòng)力作用的推送，將粘稠酸液與氣泡在密度作用與管路的切面影響作用，達(dá)成氣泡移除的作用；

(2)本發(fā)明中，利用加熱式緩沖器與輸液方式的控制優(yōu)化進(jìn)行SPM等工藝酸液的無(wú)間斷調(diào)節(jié)酸液進(jìn)行，以輸液控制達(dá)成基礎(chǔ)面的單位截面積下的氣泡數(shù)與粘稠度的控制，避免間歇性的輸液造成不穩(wěn)定的濃度輸出的問(wèn)題導(dǎo)致的工藝進(jìn)行產(chǎn)生的晶圓表面不平整現(xiàn)象；

(3)本發(fā)明中，采取全面性的管路以及存液與輸液過(guò)程皆具有加熱過(guò)程的控制達(dá)成全道式的持溫能力，確保一慣化的酸液的相對(duì)濃度的穩(wěn)定，減少酸液的結(jié)晶產(chǎn)生以及氣泡堆積的現(xiàn)象。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)的立體圖；

圖2是本發(fā)明用于減少氣泡產(chǎn)生的供酸系統(tǒng)未安裝骨架時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；